荷蘭美國國會再度推動(dòng)針對中國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的新限制法案,試圖進(jìn)一步封堵中國獲取先進(jìn)DUV光刻機(jī)的渠道。
根據(jù)多家國際媒體披露,美國兩黨議員提出的“MATCH Act”法案,不僅要限制ASML繼續(xù)向中國出售先進(jìn)DUV設(shè)備,甚至還試圖限制對中國已有設(shè)備的維修與技術(shù)服務(wù)。相關(guān)法案的核心目標(biāo),就是切斷中國芯片制造能力繼續(xù)提升的可能。
而荷蘭方面,也持續(xù)配合美國,對ASML對華出口進(jìn)行更嚴(yán)格限制。據(jù)報(bào)道,荷蘭明確禁止ASML向中國出口關(guān)鍵DUV設(shè)備,管制范圍進(jìn)一步擴(kuò)大,敏感領(lǐng)域的新增合作全被叫停。大家心里都清楚,這背后還是美國在施壓。
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這一系列限制,得從2023年的政策變動(dòng)說起。
2023年之后,美國對中國芯片封鎖持續(xù)升級。EUV被全面禁售,先進(jìn)DUV也逐步受限,甚至連設(shè)備維修、零部件供應(yīng)、軟件升級都開始被納入限制范圍。
美國國會議員甚至公開要求,荷蘭必須同步限制ASML對中國提供DUV設(shè)備與維護(hù)服務(wù)。路透社2026年4月報(bào)道稱,美國新法案已經(jīng)將ASML的DUV浸潤式光刻機(jī)列為重點(diǎn)限制對象。
這意味著,西方已經(jīng)不滿足于限制高端設(shè)備,而是準(zhǔn)備對中國半導(dǎo)體實(shí)施“全鏈條封鎖”。
但中國企業(yè)早有預(yù)判,2023年上半年就從ASML進(jìn)口了超50億美元設(shè)備,累計(jì)數(shù)量突破1400臺,這些14納米以上工藝的設(shè)備,一直支撐著中芯國際、長江存儲等企業(yè)的生產(chǎn)線。
可麻煩很快就出在售后上。2024年1月,荷蘭突然撤銷部分機(jī)型許可,零件供應(yīng)和維修服務(wù)直接斷供。到了2024年年中,就有工廠的光刻機(jī)光源模塊出故障,生產(chǎn)效率降了15%,生產(chǎn)線差點(diǎn)停擺。
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要知道,ASML當(dāng)初承諾過10年維護(hù)服務(wù),包括軟件升級和現(xiàn)場支持,現(xiàn)在卻因法規(guī)變動(dòng)單方面違約。這些已購設(shè)備總價(jià)值超800億美元,沒售后基本等同于廢鐵,損失實(shí)在太大。
2024年下半年,中國行業(yè)協(xié)會牽頭,企業(yè)們開始整理采購合同、核算損失,為維權(quán)做準(zhǔn)備。沒想到2025年荷蘭又加碼,新規(guī)把DUV出口限制從7納米收緊到14納米,ASML的1970i、1980i等主力機(jī)型全被納入,審批周期還延長到90天。
然而,這一波操作下來,受傷的另有其人。ASML股價(jià)直接暴跌8.2%,2025年?duì)I收縮水12%。
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中國企業(yè)敢這么硬氣,底氣全來自實(shí)打?qū)嵉木C合實(shí)力,而且這種實(shí)力還在不斷升級。
先看技術(shù)自研,我們早就布局好了。
2024年,上海微電子推出的28納米光刻機(jī),良率已經(jīng)達(dá)到90%,采用電子束技術(shù),精度追上ASML中端產(chǎn)品;2025年,SMEE公司提交了EUV相關(guān)專利,計(jì)劃2026年量產(chǎn),目標(biāo)就是打破ASML的高端壟斷。
中芯國際也沒閑著,穩(wěn)定量產(chǎn)28納米制程的同時(shí),7納米節(jié)點(diǎn)攻關(guān)已經(jīng)進(jìn)入最后階段。新凱來半導(dǎo)體設(shè)備覆蓋刻蝕、薄膜沉積等全流程;萬里眼發(fā)布的90GHz超高速實(shí)時(shí)示波器,性能提升500%,直接打破西方壟斷。
此外,EDA軟件和關(guān)鍵零部件短板也在補(bǔ)齊,華大九天通過并購?fù)晟乒ぞ吆虸P,北方華創(chuàng)的離子注入機(jī)、中微公司的刻蝕機(jī),已經(jīng)用于5納米產(chǎn)線,精度能達(dá)到頭發(fā)絲的五百萬分之一。
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再看資源管控,中國更是牢牢掌握主動(dòng)權(quán)。
鎵、鍺、銻、稀土……這些看似不起眼的材料,卻恰恰是全球半導(dǎo)體、高端制造、光刻設(shè)備不可繞開的基礎(chǔ)資源。尤其是稀土。
ASML光刻機(jī)中的高性能磁體、精密電機(jī)、部分光學(xué)拋光材料,都高度依賴中國供應(yīng)鏈。中國在全球稀土供應(yīng)中的主導(dǎo)地位,決定了任何人都無法真正繞開中國完成產(chǎn)業(yè)鏈重構(gòu)。這也是為什么,美國越封鎖,全球產(chǎn)業(yè)鏈越焦慮。
因?yàn)樗腥硕家庾R到:中國不僅是市場,更是制造體系本身。而今天,中國最可怕的地方,不是某一項(xiàng)技術(shù)已經(jīng)完全領(lǐng)先。而是中國已經(jīng)形成了“被封鎖→自主替代→產(chǎn)業(yè)升級”的完整能力。這才是西方最擔(dān)心的事情。
一旦中國完成國產(chǎn)光刻機(jī)量產(chǎn),即便初期只達(dá)到28nm、14nm,整個(gè)全球半導(dǎo)體格局都將被徹底改寫。中國芯片之路方向明確,腳步堅(jiān)定。自主可控,終將實(shí)現(xiàn)。
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