華海清科：離子注入機交付國內先進存儲龍頭企業

此次大束流離子注入機iPUMA-LE交付國內先進存儲龍頭企業，是對其穩定性、均勻性和工藝匹配能力的高度認可。

近日，華海清科股份有限公司全資子公司芯崳半導體（上海）有限公司自主研發的12英寸大束流離子注入機iPUMA-LE成功交付國內先進存儲領域龍頭企業。這是繼此前該裝備批量交付多家集成電路制造頭部企業后，華海清科離子注入系列裝備在存儲芯片領域的又一重要進展，市場滲透力持續增強，客戶認可度再上新臺階。

離子注入機是集成電路前道工藝的關鍵核心裝備，技術壁壘高且長期由國際巨頭壟斷。華海清科自布局離子注入裝備以來，穩步推進產品研發與產業化進程，自主研發的大束流離子注入機系列裝備已陸續批量交付多家國內集成電路制造頭部企業，并收獲持續訂單。

此次大束流離子注入機iPUMA-LE交付國內先進存儲龍頭企業，是對其穩定性、均勻性和工藝匹配能力的高度認可，進一步印證了華海清科離子注入裝備的綜合性能與量產可靠性，也為公司在存儲芯片制造領域的市場拓展打開了更廣闊的空間。

iPUMA-LE關鍵性能指標已達到國際先進水平，具備優異的束流傳輸效率、注入均勻性與角度控制能力，能夠滿足先進制程、先進存儲對離子注入工藝的嚴苛要求。華海清科在離子注入裝備領域持續深耕，除大束流離子注入機系列裝備已實現型號全覆蓋外，中束流離子注入機系列裝備也取得了階段性進展，同時積極布局高能離子注入機系列裝備，可全面服務于邏輯芯片、存儲芯片、功率半導體、圖像傳感器等多元應用領域，滿足客戶對不同工藝節點與器件類型的多樣化需求。

華海清科Q1凈利增速大幅跑輸營收

4月22日晚間，華海清科發布2025年年度報告及2026年第一季度報告。

其年報顯示，華海清科2025年實現營業收入46.48億元，同比增長36.46%；歸母凈利潤10.83億元，同比增長5.89%。其凈利潤增速遠不及營收漲幅，呈現出利潤增長乏力的跡象。

同日（4月22日）晚間，華海清科發布2026年一季報顯示，公司一季度實現營業收入12.01億元，同比增長31.66%；歸母凈利潤2.47億元，同比增長5.95%；扣非歸母凈利潤2.25億元，同比增長5.97%。

對于業績變化，華海清科表示，CMP裝備在先進邏輯、先進存儲及先進封裝等領域開始批量應用，市場占有率和銷售規模持續提高，有效保障了經營業績的穩步增長。

盈利能力方面，2025年，華海清科毛利率41.81%，同比減少1.39個百分點。其中，公司核心業務的半導體裝備板塊毛利率為40.88%，同比減少1.94個百分點。拉長時間來看，2024、2023年公司毛利率分別為43.20%、43.55%，呈現下滑態勢。

同時，華海清科還存在客戶相對集中的風險。2025年，公司前五名客戶銷售額29.78億元，占年度銷售總額64.07%。其中前五名客戶銷售額中關聯方銷售額3.64億元，占年度銷售總額7.84%。

2025年，華海清科北京、廣州兩大廠區相繼啟用，北京廠區聚焦高端半導體裝備研發及產業化，重點推動減薄、劃切、濕法等先進半導體裝備的技術突破與產能釋放，加快新產品、新功能的研發創新與迭代升級，持續豐富與完善公司產品線；廣州廠區專注高端半導體裝備核心零部件及供液系統的研發制造，提升區域技術服務能力與供應鏈響應效率。

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