你一定不相信,一顆3納米芯片的復(fù)雜程度會(huì)超過(guò)一個(gè)星系運(yùn)行規(guī)律,一顆指甲蓋大小的芯片中隱藏著1000億個(gè)開關(guān),這些開關(guān)每秒鐘開合次數(shù)是地球人類總數(shù)的幾百萬(wàn)倍。
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為了造出這東西,人類用了70年,即便如此世界上能夠獨(dú)立制造頂尖芯片的國(guó)家一只手都數(shù)不滿,可以說(shuō)芯片是人類智慧的終極邊界。
制作芯片首先需要一種叫作石英砂的礦物質(zhì),全球僅中國(guó)、巴西、澳大利亞、美國(guó)北卡萊羅納州等極少數(shù)地方的基巖中才有應(yīng)用級(jí)的石英砂礦床。
把石英砂投入到2000度的熔爐里與碳一起燃燒,去氧后的東西叫做粗硅,純度為98%,還不能制造芯片……接下來(lái)要做的是無(wú)法超越的極限操作——把粗硅變成迄今為止人類制造出的最純凈物質(zhì)。
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首先要通過(guò)一種叫做“西門子法”的工藝將粗硅轉(zhuǎn)化為氣態(tài),接著,在極端受控條件下將一個(gè)個(gè)原子重新凝結(jié)堆積,最終形成多晶硅,純度是99.99999999999%。
做一個(gè)對(duì)比,黃金夠純了吧?能夠提煉到99.99%,多晶硅比黃金純凈10億倍,百分之99后面有11個(gè)9。
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但這依然不夠,芯片需要單晶硅,每個(gè)原子都必須乖乖的排列在一個(gè)晶格里,不能有任何一個(gè)原子偷懶插隊(duì)。
接下來(lái),工程師會(huì)把多晶硅倒進(jìn)石英坩堝中加熱到1400℃,讓其融化成液體,然后用比芝麻還小的晶種輕輕觸碰液面,緩緩旋轉(zhuǎn)并向上提位……
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奇跡會(huì)在這一刻發(fā)生,硅原子就像被晶種施了魔法,一層層的自動(dòng)排列對(duì)齊,一根巨大的單晶硅柱就這樣從溶液里生長(zhǎng)出來(lái)了。
這一過(guò)程要持續(xù)好幾個(gè)小時(shí),最終會(huì)形成一根直徑300毫米重量超過(guò)200公斤的硅棒,硅棒中數(shù)千億個(gè)原子每一個(gè)位置都要精確,若有一個(gè)原子排列錯(cuò)位,整根硅棒就廢了,幾百萬(wàn)元瞬間被清零。
然后用鑲了金剛石的線鋸把硅棒切成薄片,厚薄與信用卡差不多,這就是我們常常聽到的晶圓。
剛切出的晶圓表面粗糙,需要經(jīng)化學(xué)機(jī)械拋光,打磨到原子級(jí)平整。
什么是原子級(jí)平整?若把這張晶圓放大成足球場(chǎng),凸起的部分不能超半毫米,這才叫鏡面。
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把晶圓裝進(jìn)密封容器后,由天花板上的自動(dòng)軌道運(yùn)送,全程不經(jīng)過(guò)人手……工人要進(jìn)晶圓車間工作,必須穿戴宇航員一樣的服裝,呼吸節(jié)奏都必須控制,因?yàn)闈崈羰抑忻苛⒎接⒊呖諝庵衅〉念w粒不能超過(guò)一個(gè)……
什么概念呢?你們家臥室中每立方英尺空氣中漂浮的顆粒為100萬(wàn)個(gè),隨手摸一下晶圓,皮屑就會(huì)讓幾百萬(wàn)人民幣灰飛煙滅。
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從這一刻起,芯片還要經(jīng)歷超過(guò)1000道工序,歷時(shí)整整三個(gè)月。
先在晶圓表面均勻地涂上一層光刻膠,這東西見光就會(huì)產(chǎn)生化學(xué)反應(yīng),整個(gè)車間必須用黃色光,黃光不含足以破壞光刻膠的紫外線波段。
接下來(lái)就是價(jià)值超10億元的極紫外光刻機(jī)入場(chǎng),其由荷蘭ASML公司制造,重量約100噸,零部件超過(guò)10萬(wàn)個(gè),來(lái)自全球40多個(gè)國(guó)家5000多個(gè)供應(yīng)商,研發(fā)時(shí)間超30年,沒(méi)有任何國(guó)家能夠獨(dú)立制造出極紫外光刻機(jī),全球最頂尖的芯片都必須經(jīng)過(guò)它,堪稱獨(dú)一無(wú)二存在。
極紫外光刻機(jī)又是怎樣工作的呢?
一顆極小的液態(tài)錫滴首先會(huì)從管道里噴出來(lái)落入腔體,這個(gè)時(shí)候,預(yù)脈沖激光束會(huì)迎面打來(lái),把錫滴壓成煎餅狀。
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接著主激光全力轟擊,瞬間將其氣化成等離子體,這一刻的溫度超過(guò)22萬(wàn)攝氏度,是太陽(yáng)表面溫度的40倍。
這團(tuán)地獄之火中會(huì)輻射出一種嬌貴的紫色光——極紫外光,波長(zhǎng)僅13.5納米。這種光有多嬌貴?空氣都會(huì)將其吸收掉,所以光路必須保持準(zhǔn)真空,不能用玻璃鏡頭,必須用特殊反射鏡,光在10面鏡子上連續(xù)彈射后才會(huì)落到晶圓上。
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這些鏡子由德國(guó)蔡司公司制作,每反射一次光會(huì)損失約三成,反射10面鏡子后電磁波的能量就僅剩下原始光量的3%,所以光源必須足夠強(qiáng),大部分光在路上就被鏡子吞掉了。
紫光穿過(guò)刻有芯片電路圖研磨板后,圖案會(huì)被縮小4倍,然后被精準(zhǔn)投影到晶圓表面的光刻膠上,光照到的地方化學(xué)鍵會(huì)自動(dòng)斷裂,溶液一沖就洗掉了,電路圖案就這樣被精確印了進(jìn)去……
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這一過(guò)程對(duì)精度要求達(dá)到了恐怖級(jí),做個(gè)具象比較,你在北京扔出一枚飛鏢必須精準(zhǔn)刺進(jìn)上海一只蚊子的左眼。
晶圓進(jìn)入刻蝕機(jī)后,氣體會(huì)被激發(fā)成等離子體,像無(wú)數(shù)微型導(dǎo)彈般轟擊晶圓表面,把沒(méi)有光刻膠保護(hù)區(qū)域的原子一層層地剝離,雕刻出真實(shí)的電路結(jié)構(gòu)……這套涂膠、曝光、顯影、刻蝕流程要重復(fù)百遍,最終才能在晶圓上疊出100層結(jié)構(gòu),每一層和下一層排列整齊,誤差只允許5個(gè)原子距離。
這哪里是在做產(chǎn)品,完全是在挑戰(zhàn)宇宙最基本的物質(zhì)邊界。
而在層與層之間工程師還要給硅摻毒,用高能粒子束把磷硼這類的原子轟進(jìn)硅晶體的內(nèi)部,從而改變硅的導(dǎo)電性。
這樣會(huì)制造出兩種區(qū)域,一是有多余的電子,另一種缺少電子,在二者的交界處加入控制電極后就能夠用電壓控制電流開關(guān),這就是晶體管,也是芯片最基本的開關(guān),一枚頂級(jí)芯片中這種開關(guān)有1000億個(gè),每個(gè)3納米大,是人類頭發(fā)絲直徑的20000分之一。
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1000億個(gè)開關(guān)都要被銅導(dǎo)線連接起來(lái),一層橫著走,一層豎著走,最多疊到15層,形成一棟納米尺度構(gòu)成的摩天大樓,比世界上任何城市的交通網(wǎng)都要復(fù)雜1000倍。
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三個(gè)月1000多道工序,一張晶元才算完成。
但別高興太早,接下來(lái)是最殘忍的淘汰環(huán)節(jié),布滿微型探針的探針卡會(huì)壓下去給每個(gè)芯片通電,檢測(cè)電路是否響應(yīng)正常,再生成地圖,綠色為合格,紅色為廢品,廢品會(huì)被打上墨點(diǎn)……然后,一把鑲了金剛石的微鋸片會(huì)以每分鐘6萬(wàn)轉(zhuǎn)的速度對(duì)其切割,把整張晶圓分割成數(shù)百萬(wàn)顆獨(dú)立的芯片,帶墨點(diǎn)的會(huì)被直接扔掉。
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芯片檢測(cè)的廢品率往往高達(dá)50%,也就是說(shuō)耗時(shí)三個(gè)月、花費(fèi)巨資制造出的一張晶圓中有一半芯片會(huì)是垃圾……
一粒灰塵、一個(gè)原子偏差,就有可能讓幾百萬(wàn)美元打水漂,這也是為何一顆芯片賣那么貴原因,因?yàn)槟阗I的不僅是硅產(chǎn)品,還有人類歷盡千辛萬(wàn)苦僅能夠成功一半的精密極限。
合格的裸片會(huì)被機(jī)械臂拾取,貼裝到基板上,焊上比頭發(fā)絲細(xì)2萬(wàn)倍的金屬導(dǎo)線建立電氣連接。高端芯片還會(huì)反過(guò)來(lái)用底部密密麻麻地焊球?qū)踊澹@叫倒裝焊,這種工藝生產(chǎn)出的芯片性能更強(qiáng)……最后澆上黑色環(huán)氧樹脂封裝,還要加裝金屬散熱蓋,沒(méi)有金屬蓋,芯片會(huì)在幾秒內(nèi)自毀。
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封裝好的芯片要通過(guò)高溫老化測(cè)試,在極端溫度下持續(xù)通電,那些有缺陷的芯片會(huì)被提前篩掉,其余的按照性能排序,強(qiáng)的高價(jià)賣,弱的打折賣。
同一塊晶圓切下來(lái)的芯片質(zhì)量卻不同,因?yàn)閹琢;覊m導(dǎo)致部分區(qū)域損壞的芯片會(huì)被鎖死、屏蔽或降級(jí),進(jìn)而貼上低端型號(hào)標(biāo)簽出售,這是芯片行業(yè)最隱秘的商業(yè)邏輯。
最后一道工序是給芯片打上激光編碼,猶如二維碼,能夠追溯到該芯片來(lái)自哪張晶圓,哪個(gè)批次,哪條生產(chǎn)線……最后才會(huì)被焊進(jìn)電路板,裝進(jìn)你的手機(jī)、電腦以及汽車控制系統(tǒng)中。
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每一枚芯片問(wèn)世都要經(jīng)過(guò)極致工藝下的提純、融化、拉棒、切割、拋光、光刻、刻蝕、摻雜、布線、測(cè)試、封裝……等1000多道工序,每一道工序都凝聚著人類在量子物理、精密光學(xué)、高分子化學(xué)等科技領(lǐng)域的頂尖成就。
我國(guó)難以造出頂尖水準(zhǔn)的微納米芯片,是被基礎(chǔ)科學(xué)薄弱限制,并非工程師們不努力。
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