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近日,日本光刻機龍頭尼康發(fā)布了一份自其1917年創(chuàng)立以來最慘烈的虧損公告:
預(yù)計2025財年虧損額將達到850億日元,約等于36.7億人民幣。
要知道,1980-1990年代,尼康可是全球光刻機行業(yè)的絕對霸主。
但在過去半年,這個曾經(jīng)的霸主僅僅賣出了9臺設(shè)備,還全是落后的成熟制程老款機型,映襯著日本國運的衰敗。
與之形成對比的是,荷蘭ASML在2025年狂賣了327臺光刻機。
售價2億美元以上的高端EUV設(shè)備就出貨了48臺,牢牢掌控著全球高端市場,市值高達1300億美元。
過去10年(2016-2026),ASML的股價從50美元漲到了1500美元,漲幅高達30倍。
短短二十多年,這場全球光刻機行業(yè)的驚天逆轉(zhuǎn)背后,是日本和歐美科技產(chǎn)業(yè)的一場國運級的博弈。
而到如今,中國這股后浪也在悄悄發(fā)力了。
據(jù)產(chǎn)業(yè)鏈信息,2025年上海微電子累計交付的28nm浸沒式DUV光刻機已有20余臺。
2026年1月17日,上海微電子更在長三角半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)峰會上透露,今年的DUV光刻機產(chǎn)能將有望擴大到200臺。
這將是中國國運史上一次里程碑式的跨越,讓我們期待著未來最終站上那浪潮之巔。
一、尼康的作死之路。
很多人不知道,如今瀕臨絕境的尼康,曾經(jīng)是光刻機領(lǐng)域的王者。
上世紀(jì)70年代,尼康依托相機鏡頭的頂尖光學(xué)技術(shù),殺入半導(dǎo)體光刻設(shè)備市場,踩中了全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的風(fēng)口,一路高歌猛進。
在80到90年代,尼康迎來了黃金時代。
它推出的193nm干式光刻機,憑借頂尖的分辨率和穩(wěn)定性,橫掃全球市場,1990年代中期,尼康全球市場份額一度突破50%。
那時候,它的競爭對手佳能也享有著40%的份額,兩家日本企業(yè)聯(lián)手瓜分了全球光刻機90%的市場,形成“日企雙雄”壟斷的格局。
彼時,美國光刻機鼻祖GCA被逼到了破產(chǎn),而ASML只是歐洲的一個小廠,市場份額不足5%,存在感極弱。
作為頂流,尼康是芯片巨頭們爭相追捧的對象。
英特爾、AMD、IBM等美國大廠,為了拿到尼康光刻機的供貨權(quán),專門派團隊常駐尼康,甚至旺季的時候,CEO們還得親自跑到尼康工廠,預(yù)付全款蹲點搶名額。
尼康為英特爾定制的設(shè)備,是其CPU制程能在1990年代始終領(lǐng)先AMD的關(guān)鍵。
這也是那個年代,日本“技術(shù)立國”的象征。
可誰能料到呢?
進入21世紀(jì)后,僅僅五年時間,尼康就被ASML超越了,從此一路滑落到谷底。
而這一切的潰敗,都源于它接二連三的致命失誤,最終把自己逼進了死胡同。
第一個致命失誤。
2002年,是尼康命運的轉(zhuǎn)折點。
當(dāng)時,193nm干式光刻機遇到技術(shù)瓶頸,下一代157nm光源研發(fā)舉步維艱。
臺積電專家林本堅提出了一個顛覆性想法:在鏡頭和晶圓之間加水,利用水的折射率縮短等效波長,從而突破制程限制。
這就是改變半導(dǎo)體歷史的浸沒式光刻技術(shù)。
林本堅帶著這個天才構(gòu)想,第一時間找到尼康,希望能合作研發(fā)。
可彼時的尼康,正沉浸在干式光刻技術(shù)的先進與自我陶醉中,對他的方案并未重視。
高管們在會議上當(dāng)場質(zhì)疑:
“水污染了鏡頭,誰來負(fù)責(zé)?氣泡如果導(dǎo)致了設(shè)備報廢,誰來承擔(dān)?”
當(dāng)然,也不是所有高管都這么傲慢。
但背后更深層的原因,是尼康已經(jīng)在157nm干式路線上砸了數(shù)億美元研發(fā)。
如果貿(mào)然轉(zhuǎn)型浸沒式技術(shù),意味著前期的所有投入全部要打水漂,這種強烈的路徑依賴,讓尼康拒絕了創(chuàng)新之路。
正所謂,光腳的不怕穿鞋的。
當(dāng)時夾縫中求生存的ASML,因為急需破局機會,反而愿意all in這條全新的技術(shù)路線。
ASML的技術(shù)主管馬丁·范登布林克力排眾議,大力推動和臺積電聯(lián)手研發(fā),終于在2004年推出了全球首臺浸沒式光刻機。
這款產(chǎn)品憑借更高精度、更低成本,一下子就轟動了市場。
一年之后的2005年,ASML的份額大幅飆升至53.3%,超越了尼康的31.3%,躍居光刻機行業(yè)的新龍頭。
到2006年,ASML市占率更是突破60%,而尼康進一步下滑至24.5%。
兩者的差距拉開至2.5倍,格局徹底逆轉(zhuǎn)。
第二個致命失誤。
這時候的尼康,技術(shù)底蘊還在,正所謂瘦死的駱駝比馬大,想要扳回來還是有機會的。
尼康決定押注下一代EUV極紫外光刻技術(shù),想憑借此重返巔峰。
日本政府也意識到,這是一場“國運之戰(zhàn)”。
于是積極牽頭,集結(jié)了尼康、佳能、東京電子等半導(dǎo)體設(shè)備龍頭,一起投入數(shù)百億日元研發(fā),試圖重現(xiàn)昔日的技術(shù)輝煌。
可此時的光刻機行業(yè),技術(shù)和生態(tài)已經(jīng)日趨復(fù)雜。
一款高端光刻機往往涉及10萬個零部件,精密度要求極高,且下游客戶生態(tài)也變得更復(fù)雜了,韓國的三星、臺灣的臺積電等巨頭在高速發(fā)展。
2012年,精明的ASML與英特爾、三星、臺積電三大芯片巨頭達成協(xié)議,邀請他們共同入股ASML,結(jié)成命運共同體。
根據(jù)協(xié)議,三巨頭將為ASML提供巨額研發(fā)費用,以獲得未來EUV光刻機的優(yōu)先訂單+潛在的投資收益。
接下來,ASML又在全球挖掘上游供應(yīng)鏈,聯(lián)合了德國蔡司、美國Cymer等一批橫跨歐美各國的細(xì)分龍頭,組建了全球最強大的EUV研發(fā)聯(lián)盟。
這就相當(dāng)于是:歐美韓臺最頂尖研發(fā)資源和產(chǎn)業(yè)生態(tài)的組合VS日本一國的研發(fā)力量。
結(jié)果可想而知。
2017年,ASML率先量產(chǎn)交付首臺 EUV 光刻機,成為支撐 7nm 及以下先進制程的核心設(shè)備,領(lǐng)先優(yōu)勢持續(xù)擴大。
而尼康,截止2018年,在EUV項目上砸了超千億日元之后,終于造出了一臺原型機。
但由于技術(shù)指標(biāo)落后,沒有獲得一個意向訂單,最終只能無奈宣布終止EUV商業(yè)化開發(fā),輸?shù)袅朔淼淖詈笙M?/p>
第三個致命失誤。
尼康在市場策略上也蠢得離譜。
在2010年代,它就暴露了過度依賴英特爾這個單一大客戶的風(fēng)險。
隨著2024年英特爾巨虧,大幅削減資本開支,尼康訂單直接跌到個位數(shù)。
其實在2020年前后,尼康還是有過一次重生機會的。
在2020-2024年,其光刻機對華銷量占比一度超過40%,由于大陸晶圓廠擴產(chǎn),需求極大,本是尼康扭轉(zhuǎn)業(yè)績的絕佳機會。
可隨著美國推動半導(dǎo)體設(shè)備出口管制,尼康選擇緊跟美國指揮棒,主動放棄中國市場,這個機會也就成了夢幻泡影。
2025年,隨著中國市場丟失,英特爾停止芯片制造投入,尼康的光刻機業(yè)務(wù)大幅萎縮。
2025年9月,尼康關(guān)閉運營了58年的橫濱工廠,曾經(jīng)的光刻機霸主,徹底跌落神壇。
二、ASML的登頂之路。
很多人覺得ASML贏在EUV技術(shù)的強大。
可實際上,EUV只是結(jié)果,真正的核心,是它從一開始就選擇了和尼康相反的道路。
尼康思想保守,而ASML積極擁抱創(chuàng)新;
尼康體制僵化,上游只綁定日本供應(yīng)商,下游只綁定一個大客戶英特爾;
而ASML走開放的全球協(xié)作之路,上游在全球挖掘頂尖供應(yīng)商,下游聯(lián)合盡可能多的客戶,用資本入股的方式結(jié)成利益共同體,將朋友搞得盡可能的多。
在浸沒式光刻技術(shù)的路線選擇上,ASML的創(chuàng)新意識體現(xiàn)的淋漓盡致;
在EUV光刻機的研發(fā)上,它整合全球、各行業(yè)供應(yīng)鏈和生態(tài)的眼光,也是世界頂尖。
這種創(chuàng)新意識和整合全球資源所構(gòu)建起來的閉環(huán)生態(tài),才是它最強大的護城河。
如今,ASML壟斷100%的EUV市場,高端DUV市場份額超90%,全球的先進制程芯片全都離不開ASML的設(shè)備。
它成為了芯片行業(yè)的“卡脖子”王者,享受著一年百億美元級別的超額利潤。
而ASML并沒有躺在功勞簿上吃老本,仍在積極布局下一個戰(zhàn)場。
隨著摩爾定律逼近極限,先進封裝成為芯片性能提升的關(guān)鍵路徑,ASML將之視為下一個十年的重大機會。
2025年10月,ASML推出首款先進封裝光刻機TWINSCAN XT:260,套刻精度和生產(chǎn)效率大幅改進,迅速獲得臺積電、三星等核心客戶的訂單,正式宣告進入先進封裝市場。
如今,它還在投入研發(fā)混合鍵合機臺,把光刻領(lǐng)域的精密控制技術(shù),復(fù)制到后道封裝環(huán)節(jié),試圖成為一個覆蓋全流程的半導(dǎo)體設(shè)備平臺型公司。
三、佳能的求生之路。
和尼康并稱日本“光刻機雙雄”的佳能,在這20年里,沒有和ASML在高端市場硬剛。
而是選擇了一條差異化的競爭之路,逐漸找到了自己的新市場。
這份清醒,可比尼康高明太多了。
在2000-2010年代,佳能和尼康一樣,也錯失了浸沒式和EUV時代,一度迷茫。
但它很快就端正態(tài)度,清楚地知道在波長競賽上,永遠(yuǎn)無法追上ASML。
所以佳能果斷放棄了高端市場,推進兩個重要戰(zhàn)略。
第一,深耕成熟制程基本盤。
專注i-line、KrF等中低端光刻機,強化性價比,在二三線晶圓廠、功率器件、傳感器等領(lǐng)域站穩(wěn)腳跟,收獲了穩(wěn)定的客戶和利潤。
第二,押注納米壓印(NIL)技術(shù)。
納米壓印原理和光學(xué)光刻完全不同,就像蓋章一樣,把模板圖案直接壓印在晶圓上。
理論分辨率可媲美EUV,成本卻只有EUV的十分之一,能耗降低九成以上,有可能是顛覆EUV的重要技術(shù)方向。
2023年,佳能推出納米壓印系統(tǒng),宣稱能生產(chǎn)5nm芯片,未來可下探至2nm。
目前,SK海力士已經(jīng)引進用于閃存生產(chǎn)。
雖然這項技術(shù)目前還面臨模板壽命短、缺陷控制難等問題,但佳能沒有放棄,持續(xù)研發(fā)突破,2026年又推出晶圓平坦化技術(shù)。
隨著技術(shù)不斷迭代,缺陷逐步被完善,佳能的市場前景又變得明亮起來了。
佳能的生存之道,給了所有二線企業(yè)一個重要啟示:
當(dāng)主流賽道被巨頭壟斷時,沒必要正面硬剛,更好的方式是找準(zhǔn)差異化賽道,深耕細(xì)分領(lǐng)域,同樣能活下來。
活下來就有希望,不斷研發(fā)新技術(shù),說不定哪天就有可能迎來彎道超車的機會。
知進退、懂取舍,是企業(yè)基業(yè)長青的關(guān)鍵。
四、中國光刻機的突圍之路。
1,上海微電子
尼康隕落了,不代表ASML就可以在高端市場上高枕無憂。
來自中國的后浪,正在悄悄實現(xiàn)研發(fā)突破。
其中一個代表是上海微電子。
上海微電子,2002年在上海張江成立,一出生就肩負(fù)著攻克國產(chǎn)光刻機的使命。
但他也沒有盲目跟風(fēng)追高端。
在當(dāng)時西方技術(shù)封鎖、零經(jīng)驗起步的情況下,上海微電子選擇了“先易后難、循序漸進”的現(xiàn)實戰(zhàn)略。
先從低端的封裝光刻入手,逐步向顯示光刻、前道光刻機突破。
2009年,上海微電子首臺封裝光刻機交付,打破國外壟斷;
2016年,國內(nèi)首臺前道掃描光刻機交付,正式進入晶圓制造生產(chǎn)線。
2018年,90nm前道光刻機通過驗收,實現(xiàn)國產(chǎn)高端前道光刻機零的突破。
這20年,他一步步低調(diào)發(fā)展,積累人才,并終于在2025年迎來爆發(fā)之年。
第一,浸沒式DUV光刻機進入量產(chǎn)階段。
2026年1月17日,在長三角半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)峰會上,上海微電子公開宣布:
SSA800系列 28nm浸沒式DUV光刻機已交付中芯國際,進入批量量產(chǎn)狀態(tài)。
目前產(chǎn)線良率已超90%,單次曝光28nm,多重曝光可實現(xiàn)14和10nm,打破了國外在中高端DUV光刻機的壟斷。
今年的DUV光刻機產(chǎn)能,將從去年的20余臺擴大到50-200臺。
第二,完成EUV原理驗證。
上海微電子于2025年9月24日在第25屆中國國際工業(yè)博覽會首次公開展示了極紫外(EUV)兩鏡投影微場曝光裝置。
這是一臺EUV原理驗證機,標(biāo)志著國產(chǎn)EUV從原理研究進入工程樣機概念驗證階段。
根據(jù)展示裝置的核心參數(shù),波長13.5nm,分辨率接近7nm,驗證了EUV光路、反射成像、真空環(huán)境的可行性技術(shù)。
它最大的亮點是采用兩鏡反射式投影系統(tǒng),跟ASML的多鏡方案是不同的技術(shù)路線。
根據(jù)9月10日公開的專利《極紫外輻射發(fā)生裝置及光刻設(shè)備(CN202310226636.7)》,這個方案最大的特點是能實現(xiàn)帶電粒子約束+氫自由基凈化,減少鏡組污染、延長壽命。
據(jù)今年1月17日的長三角半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)峰會上,上海微電子披露的信息:
基于LDP(激光誘導(dǎo)放電等離子體)路線的EUV原型機Hyperion-1已進入試產(chǎn)階段,預(yù)計2026年第三季度完成量產(chǎn)驗證。
第三,先進封裝布局。
跟ASML一樣,上海微電子也在積極推進先進封裝設(shè)備的研發(fā)布局。
去年,上海微電子分拆了芯上微裝(AMIES),專注先進封裝光刻機的研發(fā)。
今年1月,公司完成新一輪融資,估值280億元,目標(biāo)推進獨立IPO。
第四,供應(yīng)鏈與生態(tài)培養(yǎng)。
作為光刻機國產(chǎn)替代的代表,上海微電子的產(chǎn)品據(jù)業(yè)內(nèi)估計比進口同類設(shè)備低40%左右,性價比突出,且交付周期更短。
上海微電子的高端光刻機量產(chǎn),也將帶動一批國產(chǎn)供應(yīng)鏈企業(yè)的成長。
比如南大光電(ArF光刻膠)、奧普光電/茂萊光學(xué)(光學(xué)鏡頭)、華卓精科(雙工件臺)。
上海微電子這20多年取得的成就,跟他自身的努力和時代的機遇密不可分。
從自身來看,當(dāng)然是先易后難的現(xiàn)實戰(zhàn)略,一步步不斷向上突破,不盲目追求高端。
在某種程度上,這跟佳能是有相似之處的。
但更重要的,是時代的機遇。
這幾年,上海微電子之所以取得了更快的發(fā)展,跟國家大戰(zhàn)略緊密相關(guān)。
從2020年開始,集成電路大基金加大資金注入,國家牽頭中科院、復(fù)旦、交大等科研機構(gòu)集體攻關(guān),并統(tǒng)籌中芯、HW等下游企業(yè)反向投資,形成“產(chǎn)線即實驗室”,邊用邊改、快速迭代等方法,才最終實現(xiàn)5年量產(chǎn)DUV,7年預(yù)計可量產(chǎn)EUV的目標(biāo)。
當(dāng)年,尼康的舉國體制之所以失敗,是因為日本單一市場的規(guī)模太小了。
拿不到海外市場的客戶,就意味著將陷入加拉帕戈斯化的孤島效應(yīng)。
但中國不一樣。
中國目前的工業(yè)規(guī)模世界第一,市場極大,研發(fā)工程師之多也是舉世罕見的。
這注定了在這場國運之戰(zhàn)中,上海微電子的路要比尼康容易走的多。
2,芯碁微裝
其實在中國光刻機市場上,上海微電子不是唯一一個企業(yè)。
在其他細(xì)分領(lǐng)域,還有一些后起之秀。
比如這家A股企業(yè):芯碁微裝。
2015年,芯碁微裝在合肥成立,先從PCB激光直寫設(shè)備切入,快速占領(lǐng)國內(nèi)市場,很快就拿到了60%的市場份額。
隨后,公司逐步向泛半導(dǎo)體領(lǐng)域拓展,2021年登陸科創(chuàng)板,成為“直寫光刻第一股”;
2022年,公司推出晶圓級封裝直寫設(shè)備,正式切入先進封裝賽道,精準(zhǔn)卡位AI芯片、Chiplet技術(shù)的核心環(huán)節(jié)。
2025年,芯碁微裝業(yè)績爆發(fā),營收14.08億元,同比增長47.61%,凈利2.89億元,同比增長80.42%。
主要原因是AI浪潮之下,PCB直寫光刻設(shè)備迎來大爆發(fā),全球十大PCB龍頭企業(yè)中的7家成為其重要客戶。
另外,公司的直寫光刻設(shè)備打入先進封裝從面板到晶圓的各環(huán)節(jié),開始收獲訂單。
根據(jù)機構(gòu)信息,2025年公司的光刻設(shè)備已進入長電、通富的國產(chǎn)GPU、AI芯片先進封裝產(chǎn)線。
2025年,公司先進封裝業(yè)務(wù)設(shè)備訂單占比16.58%,預(yù)計2026年將大幅提升至35%,成為第二增長曲線。
公司規(guī)模雖小,但發(fā)展迅猛,黑馬成色十足。
主要原因也是選擇了差異化賽道,且一出生就站在了中國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)騰飛、AI需求爆發(fā)的超級風(fēng)口上。
我們復(fù)盤全球光刻行業(yè)三十年的變遷,從尼康隕落、ASML稱霸、佳能偏安,再到中國企業(yè)的集體崛起。
可以發(fā)現(xiàn),科技行業(yè)沒有永恒的王者。
只有持續(xù)創(chuàng)新、走差異化之路、善于整合資源、順應(yīng)時代的企業(yè),才能站上浪潮之巔。
而中國光刻機企業(yè)最大的幸運是——
他們擁有當(dāng)今世界最大工業(yè)國的市場、人才和資金支持,再加上西方封鎖的推動力,天然就站在了風(fēng)口上。
只要企業(yè)保持清醒,在成熟制程、先進制程、先進封裝的路徑上攻堅克難,走出差異化的技術(shù)路線,自然未來可期。
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