芯企快訊 |匠嶺科技新基地擴產，再獲龍頭晶圓廠復購，AI賦能半導體量測效能飛躍！

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近日，半導體量測設備企業上海匠嶺科技有限公司向上海某龍頭晶圓廠成功交付了復購的TFT70 SuperHiK??高端薄膜量測設備。值得關注的是，這是該客戶在已有合作基礎上的再次采購，這一動作，不僅是一次成功的商業交付，更是對匠嶺科技持續深耕高端量測領域、以技術硬實力滿足頂尖客戶需求的有力證明！

此次交付的一大亮點便是AiMET人工智能量測系統的驚艷亮相。

匠嶺科技經過長期的研發和積累，深度融合人工智能技術打造了AiMET (AI-Enhanced Metrology)量測系統，這標志著AI智能量測技術在半導體前道制造環節實現了深度應用與關鍵突破。

TFT70作為匠嶺科技在售TFT系列的旗艦機型，采用業內領先的SuperHiK??量測技術，專門針對柵極超高k材料層（納米超薄單層膜）、金屬互連層(強相關性疊層納米超薄膜)和超薄介質層等最具挑戰的關鍵膜層提供精準量測，并成功解決了一系列國際性技術難題。

截至目前，TFT70已批量交付多家邏輯和存儲客戶，并獲得復購和量產線批量交付，為半導體前道產業鏈筑起了供應安全新屏障。

它主要應用于高端邏輯和存儲芯片制造的前道工藝控制，對多種關鍵膜層進行精確監控：

• 柵極超高k材料層：影響晶體管性能和功耗；

• 金屬互連層：監控多層金屬布線的厚度均勻性和效能一致性；

• 介質層：影響絕緣性能和信號完整性。

而此次交付設備中搭載的AiMET智能量測系統，采用物理化自監督自適應規模神經網絡架構，結合高可靠性并行計算，實現了從數據采集到分析的全鏈路AI賦能：

• 集成數據預處理、降維、分類與預測等機器學習技術；

• 自主研發的AI算法加速推理，單片晶圓分析速度提升20倍以上；

• 一鍵生成最優化量測方案:由AI智能創建復雜膜層結構的量測Recipe，數倍提升工程效率與量測效能；

• 多膜層模型智能構建：實現多種復雜膜層材料、多膜層系數的AI智能構建；

• 精度提升：AI智能進化算法顯著提高復雜膜厚量測的精準度；

• 統一標準：消除操作性差異，實現模型構建和材料系統系數的一致性。

AiMET智能量測系統是匠嶺科技與客戶聯合攻關的定制化平臺，已在《第八屆國際先進光刻技術研討會 (IWAPS 2025)》上進行技術報告，這標志著本土企業在高端量測AI領域的關鍵性技術突破。

匠嶺科技通過與客戶深度定制化開發AI應用，推動了半導體產業鏈的智能化發展，為本土晶圓廠提供了自主可控、穩健的高端量測國產替代方案。

據了解，為顯著提升整體產能，更好服務域內客戶，以及支撐高速增長的業績，匠嶺科技位于浙江桐鄉的全新生產基地已在本月15日順利建成投產。

該生產基地總面積達5000平方米，其中3000平方米為高等級無塵生產線與零部件倉儲中心。這一規模可觀的新基地落成，使匠嶺科技對全域客戶的交付能力實現數倍提升，成為公司規模化經營發展歷程中的又一重要里程碑！

該基地的建設是匠嶺科技“上海研發—長三角制造—全球服務”戰略布局的關鍵落子。依托上海臨港總部與張江研發中心，匠嶺科技能夠快速實現“研發 - 工程化 - 量產”的轉化流程。

在半導體工藝不斷邁向更精微化的大背景下，匠嶺科技以“AI-Enhanced Metrology”為技術戰略布局，通過扎實的技術積累和緊密的客戶合作，正不斷夯實其在半導體裝備領域的中堅力量，為產業鏈的安全與升級持續貢獻著“智慧”與“實力”，加速產業發展演進升級！

關于匠嶺

上海匠嶺科技成立于2018年，全球總部位于上海臨港，長期持續在“高壁壘”量檢測領域技術攻關，致力打造國際化平臺型半導體量測設備公司，向全球提供高端工藝監控解決方案。上海匠嶺科技已平臺化布局半導體前道、先進封裝、化合物半導體、新型顯示四大戰略領域，公司八大產品線及數十款機型已在各領域頭部企業的量產線中表現出卓越性能，屢次贏得各領域客戶的表彰和嘉獎，并持續為客戶提供高價值、創新型的解決方案。

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