提到國之重器,
你聯想到的是否都是
那些可以“上天入海”的
龐然大物?
然而今天,
小新要給大家講述的這件重器
卻無色無形、微如點滴。
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它看上去“不起眼”,
卻是中國芯片產業不可或缺的重要組成。
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芯片制造,竟然要“洗澡”!
芯片線路微細至3納米,
僅相當于頭發絲直徑的兩三萬分之一。
一粒肉眼不可見的塵埃,
一絲微乎其微的雜質,
都可能造成“山崩地裂”的危害,
直接損毀芯片架構,
導致短路、漏電乃至整片晶圓報廢。
因此,在芯片制造的過程中,
往往需經歷數百道清洗工序,
占據總工序的30%以上。
可以說,
清洗工序是決定芯片良率的關鍵環節。
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那么,
到底應該用什么來洗滌呢?
普通水?不行。
自來水里的離子、顆粒、細菌等,
每一樣都是
損壞芯片的“潛在兇手”。
給芯片“洗澡”必須用超純水——
沒有細菌、沒有顆粒、
沒有離子、沒有溶解氣體……
如果用四個字來形容
那便是“極致純凈”。
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但是,光洗干凈還不夠,
無痕干燥同樣決定芯片成敗。
超純水清洗之后,
接下來就輪到
電子級異丙醇(IPA)登場了。
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追求“極致純凈”,到底有多難?
極致純凈,
是電子級異丙醇最重要的特征。
為了衡量這種純凈度,
我們需要引入一個概念:
PPM(百萬分之一)。
如果說工業異丙醇的
最高質檢量級PPM
相當于在一個200升的浴缸水中
檢測出一滴墨水,
那么電子級異丙醇的
最高質檢量級PPT(萬億分之一),
則要從一個體量約等于兩個未名湖的
湖泊中(約為20萬立方米)
找出那一滴墨水。
從PPM到PPT,
一個字母的差別,
精度要求陡增百萬倍,
方法體系、環境條件、
操作邏輯也需要跟著升級。
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長期以來,
因為極高的技術壁壘,
這種核心“清洗液”的供給
都被國外企業牢牢把控。
不僅價格昂貴,
而且交貨期漫長,
周期長達數月,
更存在被“卡脖子”的斷供風險。
這既是我國芯片產業
自主道路上的一大阻礙,
也是必須克服的挑戰。
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打破壟斷!
中國石油五十年磨一“劍”
如今,
這一困擾我國芯片產業多年的重大難題
被中國石油錦州石化
依托五十載產業深耕
與迭代升級成功破解。
中國石油錦州石化生產的
G5級電子異丙醇,
作為芯片干燥脫水的關鍵溶劑,
能完美置換晶圓表面水分,
實現無水痕、無殘留的極致干燥,
且溫和無腐蝕,
完美適配7nm、14nm先進制程,
并可支撐更先進工藝節點。
純度要求達到99.9999%,
金屬雜質含量控制在萬億分之一級別,
容不下任何一絲瑕疵,
成為當前芯片清洗界可靠的“主力軍”。
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早在1976年,
中國石油錦州石化
便建成了當時亞洲最大、
國內唯一的異丙醇生產基地。
以超六成的市場份額引領國內行業發展,
并主導制定了異丙醇國家標準。
“十四五”規劃末期,
錦州石化G3/G5級異丙醇裝置建成投產,
成為國內第一家實現
高端電子級異丙醇
規模化生產的央企。
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作為國內唯一擁有
專業異丙醇應用技術研發隊伍的企業,
中國石油錦州石化實現了原料自給,
并擁有完全自主知識產權與研發核心技術。
尤其值得矚目的是,
這支專業異丙醇應用技術研發隊伍
——電子級IPA生產團隊,
是一支平均年齡僅26歲的年輕團隊。
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中國石油錦州石化將
最核心的裝置托付給了
這群剛走出校門的年輕人。
沒有經驗可循,
便在建設中“摸爬滾打”;
沒有規范可依,
便在試生產中歸納沉淀。
短短幾年間,
他們與裝置共同成長,
淬煉成為支撐大國產業的中堅骨干。
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如今,中國石油錦州石化生產的
G5級電子異丙醇
已實現穩定供貨、出口海外,
關鍵指標長期穩定優于國際行業標準,
在全球高端電子化學品市場
亮出了中國實力。
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責任編輯丨陳伊南
校對丨陳婷 程鏡睿
執行主編丨張灝然
內容來源丨中國石油
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