中國繼續自研光刻機,就會“破壞全球產業鏈”?
別懷疑了,你沒有聽錯,這是ASML公司總裁對中國的炮轟,就算是不懂芯片、不了解光刻機的人,看到這句話也一定覺得可笑吧?自研光刻機竟成“原罪”?
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合著ASML自己不賣給我們先進設備,還不準我們自己研發?我們自己動手搞技術,反倒成了“破壞秩序”的人?這邏輯,未免也太雙標了吧。
更有意思的是,就在ASML放狠話的前后,咱們中國在光刻機核心技術上,接連傳來了好消息,這大概就是ASML急著“發聲”的真正原因,究竟是誰急了?一目了然了吧。
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光刻機到底有多重要?它就相當于芯片制造的“大腦”,芯片的性能、大小、成本,全靠它來決定。尤其是高端芯片,沒有先進的光刻機,根本造不出來。
目前全球范圍內,能制造EUV光刻機的,真沒夸張,只有一家,就是ASML公司,這是真壟斷。它每年也就造四五十臺EUV光刻機,一臺就賣1.5億美元,還得排隊搶,但臺積電、三星、英特爾三巨頭就已經瓜分了所有產能,其他國家或企業想要分一杯羹,很難、非常難。關鍵是,你想要,美國還不讓給。
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所以說,ASML公司在中國市場,主要還是以DUV光刻機為主,甚至一些過時的型號,都可以供應給中國企業。2021到2023那幾年,咱們市場給ASML貢獻了近三成的收入。但在美的施壓下,ASML公司在已經收了錢的情況下,并未按期交付EUV光刻機,甚至對華進行了出口封鎖。
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ASML一開始也很糾結,畢竟中國市場這么大,丟了這塊肥肉,誰不心疼?但沒辦法,它的供應鏈太依賴美國了。雖然它是唯一能制造EUV光刻機的企業,但背后卻需要全球產業鏈的支持。像它的光源技術來自美國公司,光學鏡頭靠德國蔡司,一旦不聽命于美,ASML自己都得停工。
2023年,荷蘭先禁止向中國出口最先進的EUV光刻機。2024年更過分,連部分中端的DUV光刻機也不讓賣了,態度硬得很。可他們沒想到,這一刀砍下去,先疼的是自己。失去中國訂單后,ASML一路震蕩,2024年財報顯示,對華營收比巔峰時期少了一大截。
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而真正讓ASML坐不住的,是咱們中國在光刻機技術上的突破,尤其是EUV光源這個核心難題。
ASML用的是LPP方案,簡單說就是用高能激光轟擊液態錫,產生極紫外光。這套技術雖然成熟,但缺點很明顯,能量轉換率低,只有5%左右,還特別費電,而且液態錫容易產生碎屑,設備維護起來又麻煩又貴。
咱們中國的科研團隊沒走它的老路,而是搞出了自己的LDP方案,簡單講就是用激光點火,靠電場提供主要能量,用氣態或固態靶材代替液態錫。這樣一來,能量轉換率翻了兩三倍,能耗降了三成,還不容易產生碎屑,維護成本也低了很多。
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現在中科院已經進入工程驗證階段,雖然離ASML的量產標準還有差距,但推進速度已經讓外界刮目相看。更關鍵的是,要是咱們的技術跑通了,光刻機的成本能比ASML低三四成,到時候ASML的壟斷地位,就徹底保不住了。除了光源,咱們在光刻機整機和零部件上也在穩步推進。
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ASML總裁那句“破壞全球產業鏈”。說白了,他口中的“全球產業鏈”,就是以ASML為核心、西方說了算的利益格局。他們負責造設備、賺高額利潤,咱們只能掏錢買單,不能有自己的技術。一旦咱們搞出了自己的光刻機,這套格局就被打破了,他們的高額利潤也就沒了。
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ASML的焦慮,本質上是怕自己的壟斷地位被撼動。但時代在進步,沒有任何一家企業能永遠壟斷技術,也沒有任何一個國家能靠封鎖擋住另一個國家的發展。咱們靠自己的努力突破技術壁壘,憑本事說話,何錯之有?
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