Rigaku利用世界一流研究基礎(chǔ)設(shè)施加速推進(jìn)新一代半導(dǎo)體計(jì)量技術(shù)的開(kāi)發(fā)

X射線分析系統(tǒng)的全球解決方案合作伙伴Rigaku Corporation是Rigaku Holdings Corporation（總部：東京都昭島市；首席執(zhí)行官：Jun Kawakami；以下簡(jiǎn)稱(chēng)“Rigaku”）的集團(tuán)子公司，該公司宣布將利用全球研究環(huán)境，進(jìn)一步拓展面向下一代半導(dǎo)體的計(jì)量技術(shù)開(kāi)發(fā)。

作為該計(jì)劃的一部分，Rigaku正與總部位于比利時(shí)的全球領(lǐng)先半導(dǎo)體研究與創(chuàng)新中心imec合作，共同開(kāi)展一項(xiàng)為期三年的研發(fā)項(xiàng)目。通過(guò)此次合作，Rigaku將進(jìn)一步推進(jìn)其核心X射線技術(shù)的發(fā)展，包括3D器件計(jì)量、超薄膜及微量元素的高靈敏度檢測(cè)，以及微觀缺陷的無(wú)損檢測(cè)。

隨著半導(dǎo)體器件向全柵極（GAA）和互補(bǔ)場(chǎng)效應(yīng)晶體管（CFET）1等先進(jìn)架構(gòu)演進(jìn)，加之存儲(chǔ)密度不斷提升，制造工藝正變得日益復(fù)雜。這推動(dòng)了對(duì)高精度、無(wú)損測(cè)量與檢測(cè)技術(shù)日益增長(zhǎng)的需求，從而支持穩(wěn)定的量產(chǎn)。Rigaku通過(guò)提供高價(jià)值、差異化的計(jì)量與檢測(cè)解決方案，滿(mǎn)足了這些需求。

重點(diǎn)領(lǐng)域

• 先進(jìn)邏輯：CFET器件的計(jì)量與檢測(cè)技術(shù)
• 光柵計(jì)量學(xué)：評(píng)估EUV2光刻中光掩模老化
• 高級(jí)布線與封裝3：無(wú)損檢測(cè)技術(shù)
• 先進(jìn)存儲(chǔ)器：評(píng)估3D DRAM（新一代存儲(chǔ)器器件）的納米結(jié)構(gòu)

Rigaku執(zhí)行董事兼半導(dǎo)體計(jì)量事業(yè)部總經(jīng)理Markus Kuhn表示，“預(yù)計(jì)到2030年，Rigaku在先進(jìn)AI半導(dǎo)體領(lǐng)域的計(jì)量與檢測(cè)產(chǎn)品的可服務(wù)市場(chǎng)（SAM）規(guī)模將達(dá)到約10億美元。為應(yīng)對(duì)這一市場(chǎng)增長(zhǎng)，Rigaku將持續(xù)推出高價(jià)值、差異化的產(chǎn)品，目標(biāo)是在該SAM中占據(jù)50%的市場(chǎng)份額。加強(qiáng)與imec的合作將進(jìn)一步提升我們?cè)诟吒郊又禍y(cè)量與檢測(cè)領(lǐng)域的競(jìng)爭(zhēng)力，為中長(zhǎng)期增長(zhǎng)提供支持。”

1 GAA/CFET：全柵極/互補(bǔ)場(chǎng)效應(yīng)晶體管。這是新一代器件架構(gòu)，其中n型和p型晶體管垂直堆疊，從而將器件密度提升至超越納米片（GAA）技術(shù)的水平。
2. EUV光刻：一種用于先進(jìn)半導(dǎo)體制造的核心技術(shù)，能夠形成超精細(xì)電路圖案。
3 先進(jìn)封裝：一種將多個(gè)半導(dǎo)體芯片集成在一起的封裝技術(shù)，從而提升性能并降低功耗

關(guān)于Rigaku Group

自1951年成立以來(lái)，Rigaku集團(tuán)的專(zhuān)業(yè)工程技術(shù)人員一直致力于利用尖端技術(shù)造福社會(huì)，尤其是在X射線和熱分析等核心領(lǐng)域。Rigaku的市場(chǎng)遍及136個(gè)國(guó)家和地區(qū)，在全球九個(gè)分支機(jī)構(gòu)擁有約2000名員工，是工業(yè)界和研究分析機(jī)構(gòu)的解決方案合作伙伴。我們的海外銷(xiāo)售比例已達(dá)到約70%，同時(shí)在日本保持著極高的市場(chǎng)份額。我們與客戶(hù)一起不斷發(fā)展壯大。隨著應(yīng)用領(lǐng)域從半導(dǎo)體、電子材料、電池、環(huán)境、資源、能源、生命科學(xué)擴(kuò)展到其他高科技領(lǐng)域，Rigaku實(shí)現(xiàn)了“通過(guò)推動(dòng)新視角來(lái)改善我們的世界”的創(chuàng)新。

4月9日與imec舉行簽約儀式