咱中國在光刻機(jī)這一塊兒那可是越來越牛掰了,進(jìn)步速度簡直快得驚人,這可把荷蘭那邊急得直跳腳。荷蘭的外交部長直接跳出來嚷嚷:“中國光刻機(jī)能有今天,全靠我們荷蘭的技術(shù)!”這話一出口,在全球半導(dǎo)體行業(yè)那可就跟炸了鍋似的。
荷蘭外相這話里頭啊,藏著兩層小心思。一方面呢,說明咱中國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)那韌性簡直絕了,在他們的重重封鎖下,硬是闖出了一條路;另一方面呢,荷蘭自己原本在技術(shù)上那是壟斷地位,現(xiàn)在眼瞅著要保不住了,心里那叫一個慌啊。說到底,這就是一場關(guān)于誰能掌握科技主動權(quán)、在全球產(chǎn)業(yè)鏈里誰能說了算的較量。
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打上世紀(jì)80年代起,咱中國就開始從荷蘭的阿斯麥公司買光刻機(jī)啦。早到1988年的時候,清華大學(xué)就買了第一臺阿斯麥的5000飛利浦自動步進(jìn)式光刻機(jī),主要就是用來搞科研、教學(xué)生。
到2023年年底,咱中國從阿斯麥那兒總共買了1400多臺光刻機(jī)還有相關(guān)的計量設(shè)備,成了阿斯麥在全球最重要的市場之一。2014年的時候,中芯國際更是豪擲近4.5億歐元,買了好幾臺阿斯麥的下一代系列浸潤式深紫外光刻機(jī)。那時候阿斯麥的老板還一個勁兒地夸,說這種合作就是全球化分工帶來的雙贏好事兒。
不過從2018年開始,情況就變了。美國一個勁兒地給荷蘭施壓,逼著荷蘭收緊對咱中國光刻機(jī)的出口限制。美國嘴上說的是“國家安全”,其實(shí)就是不想讓咱中國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展起來,一步一個腳印地升級限制措施。
荷蘭政府頂不住美國的壓力,只能妥協(xié)。2024年的時候,撤銷了一部分已經(jīng)發(fā)出去的出口許可證。到2025年年底,連原本沒限制的中低端深紫外光刻機(jī)也被管起來了,審批一次最長得等6個月,這可把阿斯麥嚇得不敢再接中國客戶的新訂單了。
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荷蘭原本想著靠封鎖來遏制咱中國,結(jié)果呢,反倒把咱中國逼得加快了自主創(chuàng)新的步伐。就像阿斯麥前首席執(zhí)行官溫寧克六年前就提醒過的:“你越封鎖中國,他們自己研發(fā)高端光刻技術(shù)的速度就越快。”
面對外部的限制,咱中國拿出了“舉全國之力+市場推動”的辦法,把原本打算用來買進(jìn)口設(shè)備的上千億資金,都投到扶持本土產(chǎn)業(yè)鏈上了。上海微電子、長春光機(jī)所、清華大學(xué)這些機(jī)構(gòu)和企業(yè),一起聯(lián)手攻關(guān),在浸潤式光刻、光源、鏡頭、雙工件臺這些核心技術(shù)上,一點(diǎn)點(diǎn)地突破,慢慢就趕上了。
現(xiàn)在,咱中國光刻機(jī)的進(jìn)步那可是有目共睹。上海微電子研發(fā)的28納米級光刻機(jī),已經(jīng)在一些工廠試運(yùn)行了,良品率能達(dá)到90%,價格卻只有阿斯麥同類產(chǎn)品的三分之一,計劃2025年要交付10臺以上。
而且啊,國產(chǎn)光刻機(jī)的核心零部件,越來越多都是咱自己制造的了。通過多重曝光技術(shù),有些國產(chǎn)設(shè)備已經(jīng)能造出更精細(xì)的芯片,咱中國自己能造的芯片也越來越多了。咱A股里的光刻機(jī)相關(guān)板塊也越來越活躍,像大族激光、張江高科這些大企業(yè),也一直在發(fā)力,給國產(chǎn)光刻機(jī)產(chǎn)業(yè)撐腰。
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看著咱中國進(jìn)步這么快,荷蘭那邊越來越焦慮了。除了外相說“中國用我們的技術(shù)”,荷蘭的國防部長還在香格里拉對話會上指責(zé)咱中國,說咱“監(jiān)視荷蘭的半導(dǎo)體行業(yè)”,想把咱中國的技術(shù)突破污蔑成“偷來的知識產(chǎn)權(quán)”。
可這些說法,連個證據(jù)都沒有,咱中國外交部早就嚴(yán)正反駁過了。其實(shí)荷蘭之所以這么指責(zé),核心就是怕——咱中國自己的技術(shù)成熟了,他們不僅會失去每年大概823億元人民幣的對華貿(mào)易收益,更可能在全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈里,再也說不上話了。
荷蘭半導(dǎo)體設(shè)備協(xié)會也發(fā)出警告,要是一直這么限制咱中國,到2026年,荷蘭半導(dǎo)體設(shè)備的出口總額會下降18%,相關(guān)行業(yè)會少1.2萬個工作崗位。
更關(guān)鍵的是,每賣一臺光刻機(jī),荷蘭相關(guān)企業(yè)后續(xù)5到8年都能靠維護(hù)服務(wù)賺錢,這部分錢能占到設(shè)備總價的30%到40%,現(xiàn)在搞封鎖,相當(dāng)于荷蘭企業(yè)自己把這塊大肥肉給丟了。
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說實(shí)在的,咱中國早期確實(shí)買過荷蘭的光刻機(jī),也通過合作學(xué)到了一些基礎(chǔ)技術(shù),但這絕不是荷蘭外相說的“依賴他們技術(shù)”的理由。咱中國光刻機(jī)能有今天的突破,核心是無數(shù)科研人員沒日沒夜地鉆研,是國家一直往半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)砸錢,是咱本土企業(yè)一起發(fā)力的結(jié)果。
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