萬億美元時代已至！半導體廢氣治理技術狂飆，綠色智造“上桌”

OpenClaw爆火、存儲迎來超級景氣周期、巨頭相繼官宣造芯計劃……2026年，在AI算力建設熱潮、存儲狂飆、先進封裝技術突破等多重因素驅動下，全球半導體產(chǎn)業(yè)以遠超預期的速度向萬億美元規(guī)模沖刺。站在這個關鍵節(jié)點展望，產(chǎn)能擴張需求與碳減排硬約束之間的摩擦不斷加劇，將倒逼產(chǎn)業(yè)重新審視自身發(fā)展，加快擺脫高耗能、高排放制造模式，通過綠色化、低碳化、智能化升級重構核心競爭力。

全球圍堵

國際貿(mào)易規(guī)則改寫，半導體產(chǎn)業(yè)戴上綠色“緊箍咒”

“我們原來預測2030年實現(xiàn)萬億美元的規(guī)模，這一目標會提前到來，有機會在2026年就實現(xiàn)。”國際半導體產(chǎn)業(yè)協(xié)會中國總裁馮莉指出，AI建立了一個新的時代，在新秩序下，全球半導體產(chǎn)業(yè)將被帶入一個全新增長周期。美國半導體行業(yè)協(xié)會推測結果相近，其總裁兼首席執(zhí)行官John Neuffer表示，2026年全球半導體銷售額預計可達1萬億美元。

產(chǎn)業(yè)加速邁進萬億美元時代，與此同時，一場因國際貿(mào)易規(guī)則調(diào)整引發(fā)的綠色合規(guī)革命正在如火如荼地進行。

在歐洲，歐盟碳邊境調(diào)節(jié)機制今年正式進入實質性收費階段，計劃從2028年開始擴大適用范圍，逐步構筑起綠色壁壘。另外，歐盟“芯片法案2.0”蓄勢待發(fā)，旨在強化自身在全球半導體版圖中的地位，擬對進口產(chǎn)品設置更高技術與環(huán)境準入要求。在美國，《芯片與科學法案》明確將綠色制造作為獲取補貼的“入場券”，供應鏈審查制度同步收緊，將半導體企業(yè)參與成本推向新高。

隨著這些政策工具生效，綠色低碳轉型將超越企業(yè)自愿承擔的責任范疇，演變成全球市場強制性準入門檻。過去，半導體產(chǎn)業(yè)競爭拼的是制程、產(chǎn)能與成本，而未來，綠色智造水平同樣能決定勝負。競爭邏輯從根本上發(fā)生改變，企業(yè)布局亦隨之調(diào)整。當全球可持續(xù)披露準則、美國SEC氣候信息披露新規(guī)、歐盟可持續(xù)報告標準等不斷施加壓力，ESG（環(huán)境、社會和公司治理）便成為半導體企業(yè)戰(zhàn)略決策的核心變量，貫穿所有經(jīng)營環(huán)節(jié)。

從潔凈空氣到廢氣高效凈化，從能效優(yōu)化到碳足跡核算，ESG中“E”維度指標的達成離不開技術裝備支撐。基于此，中國、韓國、日本、新加坡、印度、馬來西亞等國政府紛紛出手，支持本土半導體企業(yè)向新向綠升級。

如何撬動補貼與產(chǎn)業(yè)資源，找到高效、智慧、經(jīng)濟的成熟方案，在新一輪競爭中搶占綠色制高點？世環(huán)會【工業(yè)節(jié)能與環(huán)保】重磅籌備，2026上海綠色智造與節(jié)能技術展應勢而來，將于6月9-11日在上海|國家會展中心（虹橋）盛大啟航。作為綠色智造領域的高端交流平臺，本屆展會將匯集全球頂尖智慧，為處于轉型十字路口的半導體產(chǎn)業(yè)，探索出一條可落地、可持續(xù)的戰(zhàn)略突圍路徑。

2025世環(huán)會【工業(yè)節(jié)能與環(huán)保】現(xiàn)場

技術迭代

廢氣治理攻堅正酣，綠色智能改造成“破局之鑰”

不同于其他傳統(tǒng)工業(yè)，半導體制造過程極為精密，堪稱“工業(yè)皇冠上的明珠”。光刻、刻蝕、薄膜沉積、離子注入、化學機械拋光等數(shù)百道工序中，每一步都對環(huán)境空氣條件有著嚴苛要求，并伴生多種氣態(tài)污染物，成分復雜、毒性強且濃度波動劇烈。正因如此，在半導體產(chǎn)業(yè)，常規(guī)末端治理手段已難以為繼，耦合工藝、資源循環(huán)、智慧管控裝備市場需求與應用潛力集中釋放。

·廢氣：潔凈車間管控與多工藝協(xié)同減排

隨著制程節(jié)點不斷演進，半導體產(chǎn)業(yè)潔凈度要求逐步從微粒控制延伸到對分子級污染的全面管控。這就意味著，企業(yè)在生產(chǎn)過程中，既要保障車間氣態(tài)分子污染濃度維持在對應量級，又必須部署高效可靠的廢氣收集與處理系統(tǒng)實現(xiàn)達標排放。潔凈保障與污染治理協(xié)同聯(lián)動，多種技術耦合應用成為主流，吸附濾材、填料等關鍵材料與洗滌、熱分解等核心工藝迎大考。2026上海綠色智造與節(jié)能技術展特別設置了“廢氣治理專區(qū)”，將云集高質量展商，集中展示成熟產(chǎn)品、一體化解決方案與工程案例，搭建起供需一站式對接平臺。

半導體制造對潔凈環(huán)境要求極為嚴苛，需將顆粒物、化學污染物及溫濕度波動控制在極低水平，以保障芯片良率與工藝穩(wěn)定。作為“中國濾料之鄉(xiāng)”阜寧走出的代表，東旺環(huán)保持續(xù)精耕高端賽道，在耐高溫、耐腐蝕濾料研發(fā)制造上獨具優(yōu)勢，可為車間氣體凈化提供堅實支撐；專業(yè)承接各類環(huán)保“交鑰匙”工程，綠然集團能夠依據(jù)工況定制通風工程與廢氣處理成套設備，與安徽理工大學、浙江理工大學等高校合作緊密，已將多項創(chuàng)新成果成功轉化為方案；益民干燥作為中國干燥行業(yè)重點骨干企業(yè)，真空干燥、閉路干燥技術水平持續(xù)領跑，可助力用戶從源頭實現(xiàn)資源回收與減污降碳。

揮發(fā)性有機物（VOCs）是半導體行業(yè)污染物治理一大難點，具有風量大、濃度低的特征，排放會產(chǎn)生酸堿性氣體和有毒氣體。為應對日益增長的市場需求，綠泉環(huán)保基于多年專業(yè)VOCs廢氣治理經(jīng)驗，推出了沸石轉輪（簡式/盤式）+蓄熱式高溫焚化設備（RTO）復合工藝。其中，沸石濃縮轉筒使用組合式沸石模塊，不僅吸附效率更高、速度更快，脫附也更為徹底；RTO采用新材料技術，性能提升的同時，熱回收效率可達95%。在浙江、四川等地項目實踐中，這套方案節(jié)能降碳效益顯著，成為半導體企業(yè)高水平生產(chǎn)的綠色引擎。

·綠色智造：全流程智慧管控與低碳協(xié)同

5G、AI、大數(shù)據(jù)等技術的飛速崛起，推動綠色智造升級浪潮向工業(yè)全領域蔓延。面對“產(chǎn)能擴張”與“綠色轉型”雙重考驗，半導體行業(yè)將智慧管控技術與生產(chǎn)工藝、污染治理融合，通過智能排產(chǎn)與預測性維護實現(xiàn)源頭減排，依托實時監(jiān)測與精準預警提升全流程治理效率，破解高端制造與低碳發(fā)展平衡難題，夯實產(chǎn)業(yè)高質量發(fā)展根基。未來，市場必將屬于那些將綠色智造能力鍛造成核心競爭力的企業(yè)。

比如，愛德旺斯高能效HE-RTO與AI智能優(yōu)化控制系統(tǒng)，獲評“節(jié)能降碳示范產(chǎn)品”，以AI智能優(yōu)化控制系統(tǒng)實時感知工況、動態(tài)尋優(yōu)，助力半導體行業(yè)VOCs治理熱能回收效率實現(xiàn)質的飛躍。在實際應用中，該系統(tǒng)在顯著降低污染物排放濃度的同時，節(jié)能率一度超過90%，成為高能效與低排放協(xié)同的典型案例。

比如鑫風風機，作為行業(yè)領先企業(yè)，自有風機性能檢測中心，配置動平衡檢測、振動檢測、保壓測試等，以數(shù)智化手段對每一款出廠產(chǎn)品進行全方位質檢，確保0誤差。產(chǎn)品綠色效益突出，全系列風機效率可達85%以上，達到一級能效認證標準，同功率情況下提高20%的風量，同風量的情況下降低30%的能耗。

國內(nèi)猛趕

政策壓力與技術突圍，國產(chǎn)高端裝備駛入“快車道”

經(jīng)過“十四五”時期的精耕，中國大陸半導體產(chǎn)業(yè)實現(xiàn)跨越式發(fā)展，涌現(xiàn)出一批具備自主研發(fā)實力的國產(chǎn)廠商，核心技術國產(chǎn)化替代進程不斷加快。國際半導體產(chǎn)業(yè)協(xié)會預測，2026年，中國大陸12英寸晶圓廠產(chǎn)能將達到240萬片/月，占據(jù)全球25%份額，超越韓國（23%）和中國臺灣（22%）。

“十五五”元年，重要綱領性文件《中華人民共和國國民經(jīng)濟和社會發(fā)展第十五個五年規(guī)劃綱要》出爐，將半導體（集成電路）置于十大新產(chǎn)業(yè)新賽道之首，要求加快發(fā)展關鍵裝備、材料和零部件。與此同時，零碳園區(qū)、零碳工廠建設火熱，電子電器也被列為重點培育行業(yè)。《關于開展零碳工廠建設工作的指導意見》指方向，配套《零碳工業(yè)園區(qū) 建設指南》《綠色工廠評價要求 集成電路制造》等標準同步推進，明確多個維度評價原則，為半導體企業(yè)綠色低碳轉型提供政策支撐與量化標尺。

宏觀調(diào)控層層傳導，地方精準施策跟上節(jié)奏，上海、北京、深圳、杭州等地相繼出臺專項細則，筑牢“國家引導+地方配套+標準護航”立體化推進體系，助力半導體產(chǎn)業(yè)從補短板、破瓶頸走向全鏈條突破。與此同時，響應“雙碳”戰(zhàn)略目標，制造業(yè)高質量發(fā)展、因地制宜培育新質生產(chǎn)力等要求進一步推動半導體產(chǎn)業(yè)全流程綠色智能再造，有關設備需求密集釋放。

國內(nèi)市場持續(xù)升溫，國產(chǎn)半導體廢氣治理裝備正加快實現(xiàn)從跟跑向并跑、領跑跨越，并不斷開拓細分市場。比如沃德鑫豐環(huán)境，精耕VOCs廢氣治理賽道，已在電化學反應堆、化學催化技術上構筑起技術優(yōu)勢，通過精準控制，較傳統(tǒng)方案可節(jié)省固定投資30%以上、運行成本70%以上，且不產(chǎn)生額外碳排量；比如楊凌RTO的撬裝式RTO，專為中小企業(yè)設計，高度集成燃燒室部、蓄熱室部、過流部、煙筒等四大撬塊，實現(xiàn)節(jié)能環(huán)保雙收益；比如佰斯拓，實戰(zhàn)經(jīng)驗豐富，精準攻克了不同工業(yè)領域通風難題，定制高溫風機耐850℃高溫，并有著優(yōu)異節(jié)能表現(xiàn)，每臺每日省電可達百元。

依托國家穩(wěn)外貿(mào)、促出海戰(zhàn)略，越來越多國產(chǎn)品牌將目光投向海外。回應中國專精特新力量“走出去”訴求，2026上海綠色智造與節(jié)能技術展致力于將自身打造為“出海跳板”，邀請海外采購團體、國際認證機構等出席，由成功出海企業(yè)帶來經(jīng)驗分享，跨越標準對接、品牌信任、售后服務等門檻，幫助更多廠商打通銷售渠道。以此次展會為支點，中國品牌將在全球半導體綠色供應鏈中贏得更多位置。

2025世環(huán)會【工業(yè)節(jié)能與環(huán)保】現(xiàn)場

撬動全球綠色供應鏈，掌握半導體產(chǎn)業(yè)升級話語權

當前，從設計、制造到應用，綠色化、低碳化已是全球半導體產(chǎn)業(yè)不可逆轉的趨勢。隨著產(chǎn)業(yè)生態(tài)不斷完善與技術精度要求提升，轉型將朝著更深層次、更廣范圍推進。

值此變革之際，政企研三方亟需一個能夠深度交流、精準對接、協(xié)同創(chuàng)新的專業(yè)平臺。2026上海綠色智造與節(jié)能技術展將以20,000平米規(guī)模，吸引30,000+高端制造業(yè)等相關領域專業(yè)觀眾赴會，加速半導體等關鍵產(chǎn)業(yè)綠色技術普及與迭代，凝聚共識，走向共贏。

未來已來，唯有主動擁抱變革、深度融入全球生態(tài)，才能在新一輪技術競速中行穩(wěn)致遠。

資料來源：新華網(wǎng)、SEMI中國、第一財經(jīng)、新浪財經(jīng)、經(jīng)濟日報