電子工業(yè)潔凈廠房微振控制規(guī)范

電子工業(yè)潔凈廠房的微振控制，是保障電子產(chǎn)品生產(chǎn)精度、維護(hù)作業(yè)人員安全與舒適度的關(guān)鍵環(huán)節(jié)。需整合廠房設(shè)計、設(shè)備選型、施工投產(chǎn)全流程，建立科學(xué)的控制標(biāo)準(zhǔn)與落地措施，確保各項(xiàng)振動指標(biāo)滿足生產(chǎn)及安全管控要求。

一、微振控制設(shè)計要求

潔凈廠房微振控制設(shè)施的設(shè)計，需貫穿設(shè)計、施工、投產(chǎn)全過程，重點(diǎn)覆蓋振動測試、建筑結(jié)構(gòu)控振、動力設(shè)備隔振及精密儀器隔振等核心內(nèi)容，保障微振控制效果達(dá)標(biāo)。

具備微振控制需求的潔凈廠房，需嚴(yán)格執(zhí)行以下要求：總平面規(guī)劃時，需排查相鄰廠房及建筑物對精密設(shè)備、儀器的振動干擾，規(guī)避外部振動影響；放置精密設(shè)備的潔凈廠房，其建筑基礎(chǔ)、結(jié)構(gòu)選型、隔振縫設(shè)置及室內(nèi)裝修，均需契合微振控制標(biāo)準(zhǔn)；對精密設(shè)備存在振動影響的動力設(shè)備及管道，需落實(shí)主動隔振措施；若精密設(shè)備經(jīng)測試確認(rèn)受周邊振動干擾，需及時采取被動隔振處理。

二、容許振動值與微振控制實(shí)施細(xì)節(jié)

微振控制設(shè)計需結(jié)合精密儀器、設(shè)備的自身特性，采用綜合隔振手段，確保振動值符合容許標(biāo)準(zhǔn)。精密設(shè)備及儀器的容許振動值，可通過時間域或頻率域的振動加速度、速度、位移等物理參數(shù)進(jìn)行界定。

微振控制設(shè)計需分四個階段開展振動測試分析：場地環(huán)境振動測試與分析、廠房建筑結(jié)構(gòu)振動特性測試與分析、精密設(shè)備安裝點(diǎn)位環(huán)境振動測試與分析、微振控制最終效果測試與分析。

對振動強(qiáng)烈的設(shè)備及管道，優(yōu)先采用主動隔振措施，選用適配的隔振臺（座）及剛度合理的隔振器，通往潔凈室（區(qū)）的管道需設(shè)置隔振支（吊）架及柔性連接件；潔凈室內(nèi)精密設(shè)備的被動隔振設(shè)計，需保證隔振臺（座）剛度達(dá)標(biāo)，采用低剛度隔振設(shè)施，確保隔振系統(tǒng)各向阻尼比不低于0.15，同時做好傾斜校正，避免隔振設(shè)施影響氣流流型；若采用空氣彈簧隔振器，其供氣系統(tǒng)需進(jìn)行凈化處理，確保符合對應(yīng)潔凈室空氣潔凈度等級。