陜西
近期普洛帝測控液體顆粒計數(shù)器部門接到好幾個咨詢電話，都是咨詢管控電子級硫酸的儀器。
什么是電子級硫酸？
電子級硫酸又稱高純硫酸、超純硫酸，屬于超凈高純試劑，是一種微電子技術(shù)發(fā)展過程中不可缺少的關(guān)鍵基礎(chǔ)化學(xué)試劑。
電子級硫酸有哪些應(yīng)用？
電子級硫酸廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、超大規(guī)模集成電路的裝配和加工過程，主要用于硅晶片的清洗和蝕刻，可有效除去晶片上的雜質(zhì)顆粒，無機殘留物和碳沉積物。
為什么要對電子級硫酸進行顆粒管控？電子級硫酸的純度和潔凈度對電子元的件成品率、電性能及可靠性有著重要的影響。電子級硫酸是芯片制造工藝中用量最大的電子化學(xué)品，主要用于去除晶圓片上殘留的金屬和有機物雜質(zhì)，質(zhì)量要求高，產(chǎn)品中金屬離子須達到ppt級（ppt=1ng/Kg=10-12）。電子級硫酸管控有哪些難點？
目前，我國電子級硫酸產(chǎn)品完全依賴德國BASF等外企進口，嚴(yán)重制約我國芯片產(chǎn)業(yè)發(fā)展，是主要“卡脖子”產(chǎn)品之一。
近兩年，我國電子級硫酸制備技術(shù)取得突破，產(chǎn)品質(zhì)量顯著提高，電子級硫酸產(chǎn)品中金屬離子濃度均小于10ppt，超越了國際SEMI-C12（金屬離子<100ppt）級別，與國際電子化學(xué)品供應(yīng)量最大、品質(zhì)最好的巴斯夫電子級硫酸品質(zhì)處同一級（金屬離子<10ppt），達到國內(nèi)領(lǐng)先、世界一流水平。
基于上述原因，我國新的電子級硫酸標(biāo)準(zhǔn)將于2023年5月1日正式施行，也將顆粒管控提到了標(biāo)準(zhǔn)管控層面。
有2個，一個是硫酸的腐蝕性，一個是硫酸的濃度。98%濃度的電子級硫酸的腐蝕性很強，這個就要求顆粒管控的儀器的耐強腐蝕很強。高濃度的硫酸檢測，接液材質(zhì)達不到這個檢測濃度就無法需要稀釋檢測，稀釋又會存在手動稀釋和自動稀釋的問題，都是給電子級硫酸檢測無形中增加了麻煩。
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