破防了！臺積電3nm核心的中國學(xué)者，辭掉日本鐵飯碗帶團隊回國!

提起半導(dǎo)體卡脖子，所有人都盯著光刻機、芯片設(shè)計，殊不知還有個藏在設(shè)備最深處、沒人關(guān)注的短板，卡得比誰都狠。有個85后中國學(xué)者，放著日本國立研究所的終身鐵飯碗不要，拎著整支團隊打包回國，他的成果已經(jīng)用在臺積電3nm量產(chǎn)線上，偏偏要回來啃這塊沒人愿意碰的硬骨頭。

這位學(xué)者叫達博，辭掉的是日本國立材料研究所NIMS的終身研究員職位。多少人在日本國立機構(gòu)熬一輩子都摸不到的鐵飯碗，他只用了一年就拿到，還是所里最年輕的終身研究員。當(dāng)年NIMS開年大會，他一天兩次上臺，先做新人入職介紹，轉(zhuǎn)頭就拿了所里最高獎理事長賞，時任所長當(dāng)場調(diào)侃，他這輩子該拿的獎，入職頭一年就全拿完了。

美國泛林集團聽說他要辭職，立馬提出無償捐款，只求他留下來把合作研究做完。泛林是全球刻蝕設(shè)備的頂流玩家，過去一直給他的實驗室投錢，能開出這樣的條件已經(jīng)給足了面子，可達博想都沒想就拒絕了。誰都好奇，放著這么好的條件不走，他偏要回國，到底做的是什么了不得的領(lǐng)域。

好多人猜他是做芯片設(shè)計或者造光刻機，其實都不對。造先進芯片需要一長串設(shè)備，刻蝕機、量檢測機這些設(shè)備，都得在等離子體、腐蝕氣體、高溫高真空這類極端環(huán)境下工作，里面的核心材料和零部件，就是達博深耕的方向，尤其是先進制程離不開的電子束量檢測領(lǐng)域。

越往尖端制程走，越不是誰的長板長誰贏，反而是短板一點點就能拖垮整個產(chǎn)線。現(xiàn)在整個行業(yè)都奔著亞納米尺度去，尺寸越小，原來成熟制程那套參數(shù)標(biāo)注精度的方法就越不好使，隨機誤差大到根本蓋不住。想要在亞納米尺度看得清看得準(zhǔn)，傳統(tǒng)光學(xué)有波長限制，根本頂不住，只有電子束能搞定，這也是先進制程繞不開電子束量檢測的原因。

達博在這塊干了兩件挺出圈的事，第一件就是重新定義了亞納米尺度的觀測方法。他從測電阻的四探針技術(shù)、紅外天文學(xué)的Chop-Nod方法借靈感，搞出了一套“白色電子”觀測法。原來大家都把非單色二次電子當(dāng)噪聲扔掉，他反倒把這些信號全拿來當(dāng)探測源，靠多次關(guān)聯(lián)測量屏蔽背景干擾，連一兩個原子層厚的納米材料都能定量測出來，效率比傳統(tǒng)方法高了小一百倍。

第二件事更狠，直接開出了一個新的學(xué)科分支。電子束有個天生的老大難問題，發(fā)射出來的電子里，真正能用的又細又直的特別少。常見的熱場發(fā)射燈絲，發(fā)出來是毫安量級的束流，最后能用上的往往只有納安級，中間差了整整一百萬倍。

原來大家的思路都是靠電場磁場約束電子，達博形容這就像拿磁鐵攔四處飛濺的水花，費勁還管不住。他換了個思路，直接從材料結(jié)構(gòu)下手，做出了一種叫圓柱對稱旋轉(zhuǎn)晶體的材料。這種晶體和準(zhǔn)晶同屬一個體系，只要旋轉(zhuǎn)就能排好原子序列，薄膜能像凸透鏡收攏光線一樣，靠衍射把發(fā)散的電子收攏起來，直接給電子光學(xué)新增了“衍射電子光學(xué)”這個新分支。

按理論估算，就算是不均色不準(zhǔn)直的電子束，穿過這種晶體后的聚焦效率能接近百分之一，配上塊體發(fā)射源，能用的束流理論上能比老辦法高幾萬甚至十萬倍。真走通了，并行電子束曝光機的效率說不定能超過現(xiàn)在的EUV，當(dāng)年NIMS所長直接評價，這個成果的原創(chuàng)性，和準(zhǔn)晶發(fā)現(xiàn)的意義相當(dāng)，搞不好這就是一條繞過EUV的新突破口。

達博出生甘肅隴南康縣的秦巴山區(qū)，當(dāng)年教育資源匱乏，他靠自己考成了市里的高考狀元，進了中科大物理系。從本科到博士，他在中科大待了九年，本科畢業(yè)論文研究的就是電子束曝光機工藝問題，根上就扎在這個領(lǐng)域。2013年博士畢業(yè)去NIMS做博士后，沒幾年就闖出了天大的名頭。

后來NIMS征集宣傳語，他提的“材料改變世界，我們創(chuàng)造材料”直接被采納沿用，這是這家日本國家級機構(gòu)頭一回采用外籍人員提出的宣傳語。日立財團的倉田獎勵金門檻極高，開辦幾十年沒幾個外籍學(xué)者能受邀做官方專訪，2026年達博成了唯一一個獲邀的外籍學(xué)者，日本電子束領(lǐng)域的老前輩，直接把他當(dāng)成自己學(xué)術(shù)體系的接班人。

好多人把他回國歸成單純的愛國情懷，其實推著他走的還有很多具體的原因。早在2016年，他就開始攢隊伍，把同門師兄弟一個個引到NIMS，這次不是他一個人回國，是整支隊伍整建制回來。他說過，真能把中國半導(dǎo)體裝備的材料和核心部件做到國際水平，這輩子的奮斗就值了。

還有家里的牽絆，他的孩子今年八歲，從小在日本長大，和中國文化的聯(lián)結(jié)很淺，他想讓孩子在更深厚的中國文化土壤里長大。他還特別在意一件事，現(xiàn)在優(yōu)秀科研人員回國發(fā)展路徑很順，但是優(yōu)秀的工程青年人才回來的很少，工程人才的核心工作很多不能公開發(fā)表，技術(shù)落地又要整個團隊熬很多年，很難被看見，他帶整支隊伍回來就是想補上這個缺口。

現(xiàn)在他已經(jīng)加盟母校中科大工程科學(xué)學(xué)院當(dāng)講席教授，國內(nèi)這塊的短板其實非常明顯。這些年國內(nèi)刻蝕設(shè)備整機已經(jīng)有不小突破，中微半導(dǎo)體、北方華創(chuàng)這些企業(yè)都做出了不錯的成果，可往設(shè)備底層看，關(guān)鍵材料和核心部件高度依賴日本進口，高端電子束量檢測設(shè)備的國產(chǎn)整機能力基本還是空白。

全球這塊的供應(yīng)鏈本來就高度集中在日本手里，我們?nèi)钡牟皇菍嶒炇依锲恋某晒钡氖前褜嶒炇覇吸c材料變成量產(chǎn)線能用的標(biāo)準(zhǔn)化部件的工程能力，達博帶回來的NIMS整機替換驗證經(jīng)驗，正好能補上這塊缺口。時間點也趕得剛剛好，從2022年開始，電子束量檢測就開始從用了近二十年的熱場發(fā)射轉(zhuǎn)向冷場發(fā)射，冷場發(fā)射束流強檢測快，更適配先進制程的需求。

達博判斷，未來三到五年，冷場發(fā)射會先在研發(fā)和工藝導(dǎo)入環(huán)節(jié)鋪開，慢慢滲透進量產(chǎn)線。還有個更現(xiàn)實的問題，我們現(xiàn)在還沒有EUV光刻機量產(chǎn)線，先進制程主要靠DUV多重曝光頂著，每多一道工序，芯片良率就掉一截，我們對電子束量檢測的抽檢覆蓋率要求，反而比國際廠商更高。

要是能搞出效率更高適配性更強的電子束量檢測方案，正好能補上沒有EUV的窟窿，把量產(chǎn)良率的壓力降下來。現(xiàn)在達博的部分隊員已經(jīng)提前回國，圍著電子光學(xué)方向做工程化產(chǎn)業(yè)化，也參與國內(nèi)相關(guān)平臺的建設(shè)，一步步把成果往產(chǎn)線上搬。

大家都盯著光刻機、芯片設(shè)計這些有光環(huán)的賽道，可真正卡住先進制程脖子的，往往就是這些藏在設(shè)備深處、沒人能叫上名字的材料和零件。達博挑的就是這塊沒光環(huán)的硬骨頭，從哪里出發(fā)又回到哪里，他要參與亞納米時代觀測規(guī)則的重寫。能不能撬開日本攥了幾十年的供應(yīng)鏈縫隙，現(xiàn)在還得看產(chǎn)線上的真章，我們不妨多給一點耐心。

參考資料：騰訊新聞DeepTech深科技 《獨家丨他辭去海外終身職位、帶整建制團隊回國，要攻下半導(dǎo)體最卡脖子的環(huán)節(jié)》，新浪科技 相關(guān)報道