國產率不到2%！讓中國芯片廠毫無辦法的瑞士產品，東北正在挑戰

一臺售價超過26億人民幣的EUV光刻機，內部有超過10萬個零件。 其中一些控制氣體進出的精密閥門，比手掌大不了多少，單臺設備里可能要用到上百個。

它們幾乎全部來自一家瑞士公司，VAT Group。

2026年4月29日，一家來自中國沈陽的企業在北京證券交易所敲鐘上市。 股票代碼920186，公司簡稱中科儀。 上市首日，股價收盤報71.98元，較發行價上漲了344.05%。

中科儀的全稱是中國科學院沈陽科學儀器股份有限公司，它的主要產品之一是干式真空泵。 在芯片制造中，真空泵和真空閥門是一對搭檔，一個負責把腔體內的空氣抽走，另一個負責精確控制工藝氣體的進出。

這家公司的上市，被看作是中國半導體核心零部件突圍的一個信號。

真空閥門是半導體設備里技術壁壘極高的“心臟部件”。 芯片制造中的光刻、刻蝕、薄膜沉積等核心工藝，都需要在接近絕對真空的環境下進行。 以EUV光刻為例，其使用的13.5納米極紫外光，在空氣中傳播幾毫米就會被吸收殆盡。 因此，光刻機內部必須被抽到超高真空狀態，壓強低至大氣壓的百億分之一。

在這種極端環境下，閥門不僅要實現開關，更要精確控制特種氣體的流量、壓力和時序，同時保證絕對不漏氣、不產生任何肉眼看不見的微粒。 一個閥門的微小泄漏或一顆微粒脫落，就可能導致整片價值數千美元的晶圓報廢，讓價值數億的設備停機。

瑞士的VAT公司在這個領域深耕了超過六十年。 根據其2025年財報，公司全年營收達到10.73億瑞士法郎，約合80億人民幣。 在半導體真空閥門這個細分市場，VAT的全球占有率保持在71%。 在更先進的邏輯和存儲芯片制造設備中，這個比例據說超過90%。

這意味著，全球主要的芯片設備商，如ASML、應用材料、東京電子，其產線上安裝的真空閥門，大部分印著VAT的logo。

中國的芯片制造廠和設備廠，每年需要采購大量的這類閥門。 一份行業報告顯示，中國半導體設備使用的高端真空閥門，國產自給率不到2%。

這個數字背后是一個現實：當我們談論國產刻蝕機、國產薄膜沉積設備取得突破時，拆開這些設備的金屬外殼，里面控制工藝氣體的精密閥門、抽取真空的泵、提供能量的射頻電源，很大程度上仍然依賴進口。

設備是國產的，核心零件是別人的。

沈陽，這座以重工業聞名的城市，正在試圖改變這個局面。

在沈陽的渾南區，一片名為“北方芯谷”的區域，聚集了57家集成電路相關企業。 它們構成了一個獨特的“整機+零部件”產業集群。

這里有做薄膜沉積設備的拓荊科技，有做涂膠顯影設備的芯源微，有做晶圓搬運機器人的新松半導體。 也有專門為這些設備制造“心臟”和“血管”的企業——比如富創精密和中科儀。

富創精密生產的是精密腔體、結構件和氣體傳輸系統。 你可以把它理解為半導體設備的金屬骨架和內部管路。 它的創始人鄭廣文，早年是做汽車4S店生意的。 2008年，他創立了富創精密，跨界進入半導體精密零部件領域。

起步異常艱難。 半導體零部件的加工精度要求是納米級，表面粗糙度堪比鏡面，焊縫不能有一個氣孔。 更難的環節是客戶驗證。 芯片產線停一天的損失以百萬計，設備商和晶圓廠對于更換一個新的零部件供應商極其謹慎，驗證周期往往長達一至三年。

富創精密扛了過來。 根據其2025年年報，公司營收達到35.43億元，同比增長16.58%。 其中，氣體傳輸系統業務營收11.06億元，增長了超過25%。 它的客戶名單里，既有北方華創、中微公司這樣的國內設備龍頭，也有應用材料、東京電子這樣的國際巨頭。

2025年，富創精密為拓展產能和進行技術研發投入了大量資金，導致當年凈利潤出現虧損。 但這筆戰略投入，是為了夯實長期競爭的基礎。

中科儀走的是另一條路。 它的前身是1958年成立的中科院沈陽科學儀器研制中心，帶著深厚的科研基因。 它主攻的是干式真空泵。

在芯片制造的真空系統里，泵是“抽氣”的核心。 過去，這塊市場同樣被歐美日企業壟斷。 中科儀實現了突破，成為國內唯一一家產品在14納米先進邏輯芯片和128層以上3D NAND存儲器產線上實現批量應用的國產干泵企業。

2025年，中科儀營收12.91億元。 2026年第一季度，其凈利潤達到1.72億元，同比增幅高達938.68%。 上市募集的資金，將用于擴大干式真空泵的產能和研發新一代產品。

一家賣汽車出身，一家源于國家級科研院所。 它們從不同的起點出發，最終都扎進了半導體核心零部件這個需要極致耐心和技術的領域。

在真空閥門這個更具體的賽道上，挑戰更為嚴峻。

VAT的護城河不僅在于設計和制造，更在于長達數十年的“工藝積累”和“客戶信任”。 它的閥門材料配方、表面處理工藝、長期可靠性數據，是拆開產品也學不來的“隱性知識”。 它幾乎參與了所有頂級設備廠商每一代新設備的早期開發，閥門與設備是深度聯調優化的。

這種綁定關系，讓后來者很難切入。

但嘗試已經開始。 在江蘇昆山，上市公司新萊應材旗下的“AdvanTorr”品牌真空閥，真空度可以達到10?12 Torr級別，并且通過了美國頂級半導體設備廠商的特殊工藝認證，成為其一級供應商。 2025年，新萊應材營收約30億元，但其業務還包括生物醫藥等領域，與專注閥門的VAT體量不同。

在江蘇無錫，索奧精密閥門有限公司在2025年7月宣布，其自主研發的半導體真空鐘擺閥完成技術攻關，已交付國內頭部客戶驗證。 鐘擺閥是應用于刻蝕與沉積設備的高端閥門，此前幾乎全部依賴進口。

在上海，左麟閥門等初創企業采用了不同的策略。 它們組建了兼具國際大廠經驗和本土fab廠背景的團隊，與芯片制造廠合作定義產品需求，再與設備商協同設計。 其研發的壓力控制器已獲得國內設備龍頭企業批量訂單，取代了美國產品。 據測算，使用其國產真空閥可使單臺設備成本降低15%-20%，維修響應時間從國際廠商的3-4周縮短至24小時內。

這些進展意味著，在28納米以上的成熟制程領域，國產真空閥門開始具備替代能力。 國內晶圓廠在成熟節點上的持續擴產，提供了最直接的市場空間。

差距依然清晰可見。 VAT一家公司2025年在半導體及相關真空閥門領域的營收就超過10億瑞士法郎。 而中國所有相關企業的營收總和，可能還不及這個數字的零頭。

更大的差距在于時間。 半導體行業客戶更換一個閥門供應商，需要積累長達一年甚至更久的穩定性運行數據。 這不是一次性能測試達標就能通過的考試，而是一場關于長期可靠性的馬拉松。

沈陽的產業集群提供了一種可能性。 當拓荊科技需要腔體，富創精密就在附近；當中科儀需要驗證真空泵與閥門的匹配，產業鏈上的伙伴可以快速協同。 這種地理上的聚集，降低了溝通和試錯成本。

北方芯谷規劃占地面積5.1平方公里，目標是打造國家集成電路裝備零部件產業的北方“芯高地”。 這里的企業，構成了一個以6家龍頭企業為主體，N家配套企業支撐的“6+N”產業體系。

這個體系的意義在于，它試圖在局部構建一個內循環。 從設備整機到核心零部件，從研發到量產，在一個相對緊密的區域內完成協作。

一臺復雜的半導體設備，由成千上萬個零件組成。 突破，正在從一個個具體的“點”開始發生。 一個真空泵，一個腔體，一段氣體管路，再到一個閥門。

這些突破是緩慢的、具體的，需要一遍遍測試、修改、再測試。 它們不像整機下線那樣引人注目，但恰恰是這些“點”的連成線、鋪成面，最終決定了一條產業鏈真正的自主程度。

瑞士的VAT公司2025年財報顯示，其全年訂單中，有32%的銷售額來自中國。 這個市場，既滋養了全球巨頭，也正在催生本地的挑戰者。