德國(guó)蔡司：美國(guó)錯(cuò)誤制裁，DUV技術(shù)助中國(guó)成市場(chǎng)贏家

德國(guó)蔡司SMT部門公開表態(tài)說DUV比EUV重要，這句話放在今天的國(guó)際半導(dǎo)體格局下，信息量大到炸裂。

表面上看，蔡司在陳述一個(gè)技術(shù)事實(shí)；但稍微想深一層，這是歐洲核心供應(yīng)商在對(duì)美國(guó)的制裁策略表達(dá)不滿。

先說技術(shù)層面。全球95%的芯片由DUV光刻機(jī)制造，哪怕是最先進(jìn)的3nm、2nm芯片，其中大多數(shù)IC關(guān)鍵層依然要回到DUV工藝上完成。EUV只負(fù)責(zé)其中最精細(xì)的幾層圖案化，剩下的＂粗活＂全交給DUV。

打個(gè)比方，EUV是做腦外科手術(shù)的手術(shù)刀，而DUV是支撐整個(gè)醫(yī)院運(yùn)轉(zhuǎn)的基礎(chǔ)設(shè)施——沒有后者，前者毫無意義。

蔡司為什么要在這個(gè)時(shí)間節(jié)點(diǎn)站出來說這番話？美國(guó)的制裁重心從一開始就搞偏了，而這個(gè)偏差正在反噬整個(gè)西方半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈，蔡司作為鏈條上最隱蔽但也最關(guān)鍵的一環(huán)，已經(jīng)感受到了切膚之痛。

回顧一下時(shí)間線。2018年中芯國(guó)際花1.5億美元訂購(gòu)ASML的EUV光刻機(jī)，這筆錢相當(dāng)于中芯當(dāng)年全年凈利潤(rùn)。

隨后美國(guó)施壓荷蘭政府撤銷出口許可，這臺(tái)設(shè)備至今沒能交付。美國(guó)的邏輯很清楚：掐斷EUV，就等于鎖死中國(guó)進(jìn)入先進(jìn)制程的大門。

但美國(guó)忽略了一件事——或者說，他們的決策層根本沒搞懂半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的需求結(jié)構(gòu)。全球芯片市場(chǎng)不是只有手機(jī)SoC和AI加速器，那只是金字塔最頂端的一小撮。

塔身和塔基是什么？是汽車?yán)锏墓β誓K、傳感器、MCU，是工廠里的PLC和變頻器芯片，是你家空調(diào)、冰箱、洗衣機(jī)里的主控IC。這些東西全部用成熟制程芯片，28nm、40nm、65nm、甚至180nm。

這些芯片看著不起眼，但全球需求量是先進(jìn)芯片的幾十倍。而且它們有一個(gè)非常重要的特性：一旦通過車規(guī)級(jí)或工業(yè)級(jí)認(rèn)證，下游客戶的切換成本極高。

一顆車規(guī)級(jí)MCU從設(shè)計(jì)驗(yàn)證到量產(chǎn)上車，周期通常在兩到三年以上。這意味著，誰先占了坑位，后來者想要搶回去，難度不是一般的大。

在EUV被封鎖的窗口期，中國(guó)企業(yè)做了一件極其聰明的事：2022年到2023年間瘋狂囤積ASML的DUV光刻機(jī)。那兩年ASML的財(cái)報(bào)清楚地顯示，中國(guó)大陸客戶的訂單占比一路飆升，巔峰時(shí)接近總營(yíng)收的一半。中國(guó)企業(yè)的邏輯非常務(wù)實(shí)——你不讓我做7nm以下的先進(jìn)芯片，行，那我就用DUV把成熟芯片的產(chǎn)能做到全球第一。

這個(gè)策略現(xiàn)在已經(jīng)初見成效。根據(jù)美國(guó)半導(dǎo)體行業(yè)協(xié)會(huì)（SIA）的數(shù)據(jù)，中國(guó)大陸地區(qū)在28nm及以上成熟芯片的全球產(chǎn)能占比已經(jīng)達(dá)到33%。

中芯國(guó)際、華虹集團(tuán)、合肥晶合、長(zhǎng)鑫存儲(chǔ)等企業(yè)這幾年幾乎同步在擴(kuò)產(chǎn)，據(jù)不完全統(tǒng)計(jì)，2022年至2025年間中國(guó)大陸有超過30座晶圓廠在建設(shè)或產(chǎn)能爬坡中，絕大部分瞄準(zhǔn)的就是成熟制程。

美國(guó)制裁政策最大的失誤，不是封鎖EUV本身，而是嚴(yán)重低估了＂逼迫對(duì)手做大塔基＂這一后果的戰(zhàn)略代價(jià)。

先進(jìn)芯片的利潤(rùn)高，但成熟芯片的總市場(chǎng)規(guī)模更大、應(yīng)用場(chǎng)景更廣、供應(yīng)鏈滲透更深。一旦中國(guó)在成熟芯片領(lǐng)域形成了全球性的產(chǎn)能優(yōu)勢(shì)和價(jià)格優(yōu)勢(shì)，這種格局想要逆轉(zhuǎn)幾乎不可能。

這里面有一個(gè)很多人沒注意到的深層博弈。成熟芯片領(lǐng)域一旦形成產(chǎn)能過剩，必然引發(fā)價(jià)格戰(zhàn)。

而中國(guó)企業(yè)在政府補(bǔ)貼、土地優(yōu)惠、稅收減免等政策的支持下，打價(jià)格戰(zhàn)的能力遠(yuǎn)超歐美日韓同行。到那個(gè)時(shí)候，不是中國(guó)芯片進(jìn)不了國(guó)際市場(chǎng)的問題，而是國(guó)際客戶為了控制成本會(huì)主動(dòng)選擇中國(guó)芯片的問題。這跟當(dāng)年光伏產(chǎn)業(yè)的劇本何其相似

再說蔡司的處境。蔡司是全球唯一能制造符合光刻機(jī)要求的高精度鏡頭組件的企業(yè)，DUV和EUV的鏡頭它都做。

但DUV設(shè)備的全球存量遠(yuǎn)大于EUV，維護(hù)、升級(jí)、鏡頭更換的持續(xù)性收入才是蔡司SMT部門的利潤(rùn)基本盤。中國(guó)市場(chǎng)是全球DUV設(shè)備增量最大的市場(chǎng)——蔡司當(dāng)然不希望DUV也被卷入制裁。

從蔡司公開強(qiáng)調(diào)＂DUV比EUV重要＂這個(gè)表態(tài)本身，我讀出了一層言外之意：歐洲企業(yè)對(duì)美國(guó)制裁政策的不滿已經(jīng)從私下游說走向了公開表態(tài)。

這不是蔡司一家的態(tài)度，ASML前CEO溫寧克和現(xiàn)任CEO富凱都在不同場(chǎng)合反復(fù)說過，過度限制對(duì)華出口只會(huì)＂把市場(chǎng)拱手讓給未來的競(jìng)爭(zhēng)對(duì)手＂。這句話翻譯過來就是——你美國(guó)人把中國(guó)逼急了，中國(guó)自己搞出來了，我們的市場(chǎng)就永遠(yuǎn)丟了。

光刻機(jī)產(chǎn)業(yè)里還有一個(gè)容易被忽略的技術(shù)細(xì)節(jié)：浸潤(rùn)式DUV光刻機(jī)的核心創(chuàng)新來自前臺(tái)積電工程師林本堅(jiān)。

他在干式光刻機(jī)接近物理極限的時(shí)候，提出在鏡頭與晶圓之間加入高純度水來實(shí)現(xiàn)光源折射，將分辨率提升至40nm以下。這項(xiàng)技術(shù)本質(zhì)上是對(duì)光學(xué)原理的巧妙利用，而實(shí)現(xiàn)這一方案的關(guān)鍵硬件——鏡頭——就出自蔡司之手。

現(xiàn)在國(guó)產(chǎn)光刻機(jī)要突破浸潤(rùn)式設(shè)備的瓶頸，核心障礙有兩個(gè)：一是光源發(fā)射器，二是蔡司級(jí)別的精密鏡頭。上海微電子（SMEE）目前量產(chǎn)設(shè)備的精度還停留在90nm級(jí)別，距離浸潤(rùn)式ArF光刻機(jī)的水平仍有明顯差距。

但如果從整個(gè)產(chǎn)業(yè)鏈來看，中國(guó)并不需要在短期內(nèi)完全替代ASML，只要手中已有的DUV設(shè)備能持續(xù)高效運(yùn)轉(zhuǎn)，成熟芯片的產(chǎn)能就有保障。

我想說一個(gè)可能不太中聽但很現(xiàn)實(shí)的判斷：美國(guó)的制裁，本質(zhì)上是在用短期的技術(shù)封鎖換取長(zhǎng)期的市場(chǎng)流失。

封鎖EUV確實(shí)拖慢了中國(guó)在先進(jìn)制程上的進(jìn)度，但代價(jià)是把中國(guó)這個(gè)全球增長(zhǎng)最快的半導(dǎo)體市場(chǎng)推向了自主化的不歸路，同時(shí)在成熟芯片領(lǐng)域催生出了一個(gè)西方難以應(yīng)對(duì)的超級(jí)產(chǎn)能競(jìng)爭(zhēng)者。

更令人值得關(guān)注的是，中國(guó)的芯片設(shè)計(jì)企業(yè)正在用Chiplet先進(jìn)封裝技術(shù)，探索用成熟制程芯片拼出接近先進(jìn)制程的系統(tǒng)級(jí)性能。

這條技術(shù)路線雖然還不成熟，但一旦跑通，意味著即便沒有EUV，中國(guó)企業(yè)也能在部分高性能計(jì)算場(chǎng)景中具備競(jìng)爭(zhēng)力。這將徹底顛覆美國(guó)制裁的底層邏輯。

站在2026年的時(shí)間點(diǎn)來看，這場(chǎng)半導(dǎo)體博弈的中間記分牌已經(jīng)很清楚了：美國(guó)贏了先進(jìn)制程的短期封鎖，但中國(guó)正在贏下成熟芯片的長(zhǎng)期市場(chǎng)。

而蔡司的那句＂DUV比EUV重要＂，既是對(duì)技術(shù)現(xiàn)實(shí)的準(zhǔn)確描述，也是這場(chǎng)博弈中一記意味深長(zhǎng)的旁白。這盤棋遠(yuǎn)沒有結(jié)束，但局勢(shì)的演變方向，恐怕已經(jīng)不是美國(guó)最初設(shè)想的那個(gè)劇本了。